[实用新型]半导体设备及其加热器电源控制系统有效
| 申请号： | 201220562242.6 | 申请日： | 2012-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN202904411U | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 孙东曦;万红;赵辉 | 申请（专利权）人： | 中晟光电设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05F1/46 | 分类号： | G05F1/46;G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体设备 及其 加热器 电源 控制系统 | ||
1.一种加热器电源控制系统，其特征在于，包含：控制单元，与所述控制单元分别相连的多个并联电源，以及与所述多个并联电源分别相连的加热器；其中，
所述控制单元用于计算加热器所需的目标功率或目标电流，并计算所述多个并联电源中各个电源相应的输出功率或者输出电流，以及，通知各个电源输出相应的输出功率或者输出电流；
所述的各个电源用于输出相应的输出功率或者输出电流给加热器。
2.如权利要求1所述的加热器电源控制系统，其特征在于，所述控制单元为电脑或者可编程逻辑控制器。
3.如权利要求1所述的加热器电源控制系统，其特征在于，所述各个电源的额定输出功率或者额定输出电流相同。
4.如权利要求1所述的加热器电源控制系统，其特征在于，所述控制单元进一步用于向各个电源发送控制信号来通知各个电源。
5.如权利要求4所述的加热器电源控制系统，其特征在于，所述控制单元向各个电源发送的控制信号相同或者其中至少两个控制信号不相同。
6.如权利要求1所述的加热器电源控制系统，其特征在于，所述控制单元进一步用于向部分电源发送控制信号来通知各个电源。
7.如权利要求6所述的加热器电源控制系统，其特征在于，所述控制单元向所述部分电源发送的控制信号相同或者其中至少两个控制信号不相同。
8.如权利要求1所述的加热器电源控制系统，其特征在于，所述部分电源输出功率或者输出电流为零。
9.一种半导体设备，其特征在于，包括如权利要求1~8中任意一项所述的加热器电源控制系统。
10.如权利要求9所述半导体设备，其特征在于，所述半导体设备为有机金属化学气相沉积MOCVD设备。
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