[实用新型]修复装置

说明书

技术领域

本实用新型例如涉及一种对平板显示器用的玻璃基板、半导体基板、印刷电路板的缺陷进行修正的修复装置。

背景技术

以往，在液晶显示器(LCD：Liquid Crystal Display)、PDP(Plasma Display Panel：等离子体显示板)、有机EL(ElectroLuminescence：电致发光)显示器等的FPD(Flat Panel Display：平板显示器)基板、半导体晶圆、印刷电路板等各种基板的制造过程中，为了提高各种基板的成品率，在进行了各图案形成处理之后，依次检查是否存在布线的短路、连接不良、断线以及图案不良等缺陷。检查的结果，在曝光工序后的抗蚀剂图案、蚀刻工序后的蚀刻图案中检测到缺陷的情况下，对该缺陷照射激光来进行修正。

作为使用激光对缺陷进行修正的修复装置，公开了如下一种技术(参照专利文献1)：具备在纵横方向上矩阵状地排列多个微镜而形成的数字微镜元件(DMD：Digital Micromirror Device)等的空间光调制元件，当对该DMD照射来自激光光源的激光时，通过分别对微镜进行角度控制，将照射的激光的截面形状整形为期望的形状，从而高速地进行缺陷修正。

专利文献1：日本特开2005-103581号公报

实用新型内容

实用新型要解决的问题

利用专利文献1的修复装置能够容易地去除或者切割作为光致抗蚀剂(Photo Resist)使用的高分子材料膜(抗蚀剂膜)的缺陷等抗激光损伤能力差的物质。然而，在对异物缺陷等进行加工的情况下，使用相同程度的输出的激光照射难以去除或者切割该缺陷。这是由于在专利文献1的修复装置中，通过DMD使图案作为像投影到被加工面上，因此对于加工异物缺陷等局部物来说激光的能量密度不足。其结果，通过配置在下游工序的专用的其它修复装置进一步进行修正，或者使像素成为黑色缺陷(黑点化)，或者在仍然不能修正的情况下废弃面板。

本实用新型是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种使用一台装置就能够对抗激光损伤能力不同的缺陷进行修正的修复装置和修复方法。

用于解决问题的方案

为了解决上述问题并达到目的，本实用新型所涉及的修复装置是对载置在载置台上的对象物的缺陷进行修正的修复装置，其特征在于，具备：摄像部，其拍摄上述对象物；第一缺陷提取部，其根据由上述摄像部拍摄到的图像数据与参考图案的差图像数据来提取缺陷；激光形状控制部，其将由上述第一缺陷提取部提取出的整个缺陷设定为激光的照射范围；光源，其照射激光；第一光学系统，其对由上述激光形状控制部设定的照射范围照射从上述光源射出的激光；第二缺陷提取部，其在通过上述第一光学系统进行缺陷修正之后，根据由上述摄像部再次拍摄上述对象物得到的图像数据的亮度信息以及该图像数据与参考图案的差图像数据来提取缺陷；第二光学系统，其对由上述第二缺陷提取部提取出的缺陷的一部分以光点照射从上述光源射出的激光；以及切换部，其使从上述光源照射出的激光的光路在上述第一光学系统与上述第二光学系统之间进行切换。

另外，本实用新型所涉及的修复装置的特征在于，在上述实用新型中，上述第一缺陷提取部提取出的缺陷是抗蚀剂膜缺陷，上述第二缺陷提取部提取出的缺陷是异物缺陷。

另外，本实用新型所涉及的修复装置的特征在于，在上述实用新型中，还具备制程(レシピ)保存部，该制程保存部保存参考图案和异物缺陷信息，该参考图案作为上述第一缺陷提取部生成的差图像数据的基准。

另外，本实用新型所涉及的修复装置的特征在于，在上述实用新型中，还具备输入部，该输入部输入通过上述第二光学系统以光点照射激光的起点和终点。

另外，本实用新型所涉及的修复装置的特征在于，在上述实用新型中，还具备移动上述载置台的台控制部，一边通过上述台控制部移动上述载置台，一边从通过上述输入部指定的起点到终点通过上述第二光学系统进行激光的光点照射。

另外，本实用新型所涉及的修复装置的特征在于，在上述实用新型中，上述对象物是形成有布线电路的蚀刻工序前的基板，上述修复装置还具备判断部，该判断部判断是否需要对由第二缺陷提取部提取出的异物缺陷进行修正，仅在上述判断部判断为需要对上述异物缺陷进行修正的情况下进行异物缺陷的修复。

另外，本实用新型所涉及的修复装置的特征在于，在上述实用新型中，上述光源具备调整激光的输出的衰减器。