[实用新型]修复装置

权利要求书

1.一种修复装置，对载置在载置台上的对象物的缺陷进行修正，具备： 

摄像部，其拍摄上述对象物； 

缺陷提取部，其根据由上述摄像部拍摄到的图像数据与参考图案的差图像数据来提取抗蚀剂膜缺陷形状和异物缺陷形状； 

激光形状控制部，其根据由上述缺陷提取部提取出的抗蚀剂膜缺陷形状设定激光的照射范围； 

光源，其照射激光； 

第一光学系统，其对由上述激光形状控制部根据上述抗蚀剂膜缺陷形状设定的照射范围照射从上述光源射出的激光； 

该修复装置的特征在于，还包括： 

第二光学系统，其根据由上述缺陷提取部提取出的异物缺陷形状的一部分以光点照射从上述光源射出的激光；以及 

切换部，其使从上述光源照射出的激光的光路在上述第一光学系统与上述第二光学系统之间进行切换。 

2.根据权利要求1所述的修复装置，其特征在于， 

还具备输入部，该输入部输入通过上述第二光学系统以光点照射激光的起点和终点。 

3.根据权利要求2所述的修复装置，其特征在于， 

还具备移动上述载置台的台控制部， 

一边通过上述台控制部移动上述载置台，一边从通过上述输入部指定的起点到终点通过上述第二光学系统进行激光的光点照射。 

4.根据权利要求1所述的修复装置，其特征在于， 

上述对象物是形成有布线电路的蚀刻工序前的基板。 

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的修复装置，其特征 在于， 

上述光源具备调整激光的输出的衰减器。 

6.根据权利要求1至4中的任一项所述的修复装置，其特征在于， 

上述切换部包括反射镜滑动件和激光反射镜，并且 

上述切换部通过利用上述反射镜滑动件使上述激光反射镜介入或者脱离从上述光源照射出的激光的光路，来使从上述光源照射出的激光的光路在上述第一光学系统与上述第二光学系统之间进行切换。 

7.根据权利要求1至4中的任一项所述的修复装置，其特征在于， 

上述切换部包括配置在上述光源内的针孔板，并且 

上述针孔板能够对从上述光源照射出的激光的口径进行切换。 

8.根据权利要求1所述的修复装置，其特征在于， 

还具备输出部，该输出部在由上述缺陷提取部提取出异物缺陷形状时输出所提取的异物缺陷形状。