[实用新型]一种多晶硅锭定向凝固炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶硅锭定向凝固炉。 

背景技术

现有的多晶硅锭定向凝固炉，通过真空泵系统（包括一个罗茨泵和机械前级泵）运行前将炉腔抽成真空状态。抽气过程中炉腔内的石墨粉和其它固体颗粒杂质将随着抽气管道抽到真空泵中，特别是在快速抽气时（此时V1阀打开）。真空泵机组是滑阀泵，利用润滑油密封的，如果从炉腔内抽出的杂质直接进入真空泵中会造成真空油的污染，导致泵内机械部件的磨损使真空泵漏油或出现真空泵停机故障。这样以来会造成真空油更换频繁和生产事故，大大降低真空泵机组的使用寿命。

发明内容

本实用新型的目的在于，针对现有技术的不足，提供一种多晶硅锭定向凝固炉，防止炉腔内的杂质进入真空泵，保证真空泵的正常运行。

本实用新型的技术方案为，一种多晶硅锭定向凝固炉，包括炉腔、真空泵机组、连接炉腔和真空泵机组的抽气管道，所述抽气管道上加装可过滤固体颗粒杂质的过滤器。

其中，过滤器可按以下结构设计：

所述过滤器内设有滤网，且滤网为200目左右；过滤器通过法兰及卡扣与抽气管道连接；过滤器设有进口和出口，且过滤器的进、出口管径与抽气管道内径相同，与抽气管道连接紧密；过滤器一端设有开口，便于维护。

本实用新型的有益效果是：在原有的抽气管道上中间增加一个过滤器，抽真空和真空模式运行时可将从炉体内抽出的石墨粉和固体颗粒杂质通过过滤器过滤留在过滤器中，过滤器头部有开口及密封盖，方便清理赃物和更换滤网。这样就能减少炉体内抽出的赃物对真空泵油的污染，从而减小对真空泵机组的损坏，提高真空泵及真空泵油的使用寿命，降低生产成本。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例的结构示意图。

具体实施方式

    如图1所示，一种多晶硅锭定向凝固炉，包括炉腔4、真空泵机组1、连接炉腔4和真空泵机组1的抽气管道3，抽气管道3上加装可过滤固体颗粒杂质的过滤器2。

过滤器2内设有滤网5，过滤器2通过法兰及卡扣与抽气管道3连接，过滤器2设有进口和出口，且过滤器的进、出口管径与抽气管道3内径相同，过滤器3一端设有开口6。