[实用新型]一种多晶硅锭定向凝固炉有效
申请号: | 201220540197.4 | 申请日: | 2012-10-22 |
公开(公告)号: | CN202865393U | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 谭晓松;陈国红;瞿海斌 | 申请(专利权)人: | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410205 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 定向 凝固 | ||
1. 一种多晶硅锭定向凝固炉,包括炉腔(4)、真空泵机组(1)、连接炉腔(4)和真空泵机组(1)的抽气管道(3),其特征是,所述抽气管道(3)上加装可过滤固体颗粒杂质的过滤器(2)。
2.根据权利要求1所述多晶硅锭定向凝固炉,其特征是,所述过滤器(2)内设有滤网(5)。
3.根据权利要求1所述多晶硅锭定向凝固炉,其特征是,所述过滤器(2)通过法兰及卡扣与抽气管道(3)连接。
4.根据权利要求1所述多晶硅锭定向凝固炉,其特征是,所述过滤器(2)设有进口和出口,且过滤器的进、出口管径与抽气管道(3)内径相同。
5.根据权利要求1所述多晶硅锭定向凝固炉,其特征是,所述过滤器(3)一端设有开口(6)。
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