[实用新型]基板输送系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基板输送系统，尤指一种可避免处理液体泄漏的基板输送系统。

背景技术

在例如PCB(印刷电路板)、FPD(平板显示器)、PV(光能电池)等的现代高科技产业中，其产物结构可包括一薄片形且具有弹性的软性基板。在PCB产业中，该软性基板可凭借化学前处理流程、显影/蚀刻/剥膜流程、水平除胶渣及镀铜流程、水平棕化流程及水平化学银流程而形成。

上述软性基板处理流程的处理方式包括浸泡式及喷淋式，其中，浸泡式在一处理槽内设有化学处理液体，凭借滚轮装置将软性基板送入处理槽内，由化学处理液体对软性基板进行化学处理，再由滚轮装置将化学反应完成的软性基板送出处理槽。而喷淋式将软性基板送入一处理室，利用喷洒方式将化学处理液体喷洒于软性基板进行化学处理，再由滚轮装置将化学反应完成的软性基板送出处理室。然无论采取何种方式，当软性基板被送出处理槽或处理室时，都会夹带着化学处理液体，不仅造成化学处理液体的浪费，同时也会污染滚轮装置、输送系统以及环境。

此外，在中国台湾新型专利M363073所述的一种现有蚀刻设备中，其在一浸泡槽的入口及出口分别设有一入料浮动轮以及一出料浮动轮，该入料浮动轮与出料浮动轮的一作用用来封闭浸泡槽的入口及出口，避免浸泡液泄漏，当基板欲进入该浸泡槽时，挟持基板的夹具会将入料浮动轮向上顶，以顺利将基板送入浸泡槽，当基板被处理完成时，夹具会将基板送出浸泡槽，此时夹具会将出料浮动轮向上顶，以顺利将基板送出浸泡槽，于入料浮动轮及出料浮动轮被上顶的过程中，都会导致若干浸泡液由浸泡槽泄漏。

发明内容

有鉴于现有技术的缺失，本实用新型提出一种基板输送系统，可避免处理液体泄漏。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种基板输送系统，其特征在于，包含：

一处理段，位于一第一高度；

一输入段，其具有相对的一第一端及一第二端，该第一端位于一第二高度，该第二高度高于该第一高度，该第二端与该处理段的其中一端串联，该输入段提供一基板，该基板被传输进入该处理段；以及

一输出段，其具有相对的一第三端及一第四端，该第三端与该处理段相对于连接该输入段的一端串联，该第四端位于一第三高度，该第三高度高于该第一高度，该基板由该处理段传输进入该输出段。

所述的基板输送系统中，该输入段包括：

一第一水平段，该第一水平段位于该第二高度，且该第一水平段于该第二高度水平延伸一长度；以及

一第一缓冲段，其具有相对的两端，该第一缓冲段其中一端与该第一水平段连接，该第一缓冲段另外一端与该处理段连接。

所述的基板输送系统中，该输出段包括：

一第二缓冲段，其具有相对的两端，该第二缓冲段其中一端与该处理段相对于连接该输入段的一端连接，该第二缓冲段另外一端的高度位于该第三高度；以及

一第二水平段，位于该第三高度，且该第二水平段在该第三高度水平延伸一长度，该第二水平段其中一端与该第二缓冲段位于该第三高度的该另外一端串联。

所述的基板输送系统中，该处理段位于一处理槽内，该处理槽内设有处理液体，该处理液体具有一液面高度，该基板被传输位于该处理段时，该基板位于该处理槽中，且该基板被淹没于该处理液体内。

所述的基板输送系统中，该输出段设有至少一清洗装置，该清洗装置朝向位于该输出段的该基板喷洒清洗液体。

所述的基板输送系统中，该清洗液体为水。

与现有技术相比较，采用上述技术方案的本实用新型具有的优点在于：利用梯形下陷式的处理槽配合缓降式的输入段以及爬升式的输出段，并搭配清洗装置清洗基板所携带的处理液体，可使基板携出的处理液体回流至处理槽中，确实可达到避免处理液体泄漏的目的，使处理液体发挥最佳处理效益及反应作用。

附图说明

图1是本实用新型的一实施例的侧视结构示意图；

图2是图1实施例搭配夹具的俯视结构示意图；

图3是图2的A-A剖面结构示意图；

图4至图6是图1实施例搭配夹具的动作示意图；

图7是本实用新型设置清洗装置的结构示意图；

图8是本实用新型另一实施例的前视结构示意图。