[实用新型]基板输送系统

权利要求书

1.一种基板输送系统，其特征在于，包含：

一处理段，位于一第一高度；

一输入段，其具有相对的一第一端及一第二端，该第一端位于一第二高度，该第二高度高于该第一高度，该第二端与该处理段的其中一端串联，该输入段提供一基板，该基板被传输进入该处理段；以及

一输出段，其具有相对的一第三端及一第四端，该第三端与该处理段相对于连接该输入段的一端串联，该第四端位于一第三高度，该第三高度高于该第一高度，该基板由该处理段传输进入该输出段。

2.根据权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于，该输入段包括：

一第一水平段，该第一水平段位于该第二高度，且该第一水平段于该第二高度水平延伸一长度；以及

一第一缓冲段，其具有相对的两端，该第一缓冲段其中一端与该第一水平段连接，该第一缓冲段另外一端与该处理段连接。

3.根据权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于，该输出段包括：

一第二缓冲段，其具有相对的两端，该第二缓冲段其中一端与该处理段相对于连接该输入段的一端连接，该第二缓冲段另外一端的高度位于该第三高度；以及

一第二水平段，位于该第三高度，且该第二水平段在该第三高度水平延伸一长度，该第二水平段其中一端与该第二缓冲段位于该第三高度的该另外一端串联。

4.根据权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于，该处理段位于一处理槽内，该处理槽内设有处理液体，该处理液体具有一液面高度，该基板被传输位于该处理段时，该基板位于该处理槽中，且该基板被淹没于该处理液体内。

5.根据权利要求1所述的基板输送系统，其特征在于，该输出段设有至少一清洗装置，该清洗装置朝向位于该输出段的该基板喷洒清洗液体。

6.根据权利要求5所述的基板输送系统，其特征在于，该清洗液体为水。