[实用新型]研磨垫整理器及研磨装置

权利要求书

1.一种研磨垫整理器，包括整理盘和驱动臂，所述驱动臂的一端与所述整理盘连接，其特征在于，还包括研磨液供应管和研磨液喷头，所述研磨液供应管和所述研磨液喷头连通，所述研磨液喷头安装于所述整理盘上。

2.根据权利要求1所述的研磨垫整理器，其特征在于，所述整理盘包括挡圈架、基座以及研磨盘，所述挡圈架、基座以及研磨盘由上至下依次安装于所述驱动臂的一端下方，所述研磨液供应管沿所述驱动臂的纵向设置于所述驱动臂内，所述研磨液喷头呈锥形，所述研磨液喷头的锥顶伸入所述驱动臂内并设有与所述研磨液供应管连通的研磨液进口，所述研磨液喷头的锥底设置带有若干喷口的锥底板，所述基座的底部中间开设用于安装锥底板的基座通孔，所述研磨盘的中部开设与锥底板相对应的研磨盘通孔。

3.根据权利要求2所述的研磨垫整理器，其特征在于，所述研磨盘的下表面设有圆形通道和若干由内向外发散的流道，所述圆形通道同心设置于所述研磨盘通孔的外侧，所述流道的内端连接于所述圆形通道，所述流道的外端连接于所述圆磨盘的外边缘，相邻的流道之间的区域均匀设有若干研磨颗粒。

4.根据权利要求3所述的研磨垫整理器，其特征在于，所述若干由内向外发散的流道围绕所述圆形通道均匀设置。

5.根据权利要求3所述的研磨垫整理器，其特征在于，所述流道为抛物线型。

6.根据权利要求3所述的研磨垫整理器，其特征在于，所述流道的宽度由内向外依次变宽。

7.根据权利要求3所述的研磨垫整理器，其特征在于，所述若干喷口均匀设置于所述锥底板上。

8.根据权利要求2所述的研磨垫整理器，其特征在于，所述研磨盘的直径范围是6~9厘米。

9.一种研磨装置，包括研磨垫、研磨平台和研磨头，所述研磨垫铺设于所述研磨平台上，所述研磨头设置于所述研磨垫上，其特征在于，包括如权利按要求1~9中任意一项所述的研磨垫整理器，所述研磨垫整理器设置于所述研磨垫上。