[实用新型]一种背照式影像传感器

权利要求书

1.一种背照式影像传感器，其特征在于，包括：

硅基板，所述硅基板中形成有感光二极管区域，所述感光二极管区域靠近所述硅基板的第一面；

介质层，所述介质层覆盖所述硅基板的第二面，所述介质层中形成有第一隔离区。

2.根据权利要求1所述的背照式影像传感器，其特征在于，所述第一隔离区包括空洞。

3.根据权利要求2所述的背照式影像传感器，其特征在于，所述空洞为填充气体或者真空。

4.根据权利要求1所述的背照式影像传感器，其特征在于，所述第一隔离区是使用非保形沉积介电膜加以密封的。

5.根据权利要求1所述的背照式影像传感器，其特征在于，所述硅基板中形成有第二隔离区。

6.根据权利要求5所述的背照式影像传感器，其特征在于，所述第二隔离区包括二氧化硅层。

7.根据权利要求1所述的背照式影像传感器，其特征在于，还包括：滤光片和微透镜，所述滤光片覆盖所述介质层的自由面，所述微透镜覆盖所述滤光片的自由面。

8.根据权利要求1所述的背照式影像传感器，其特征在于，所述硅基板的第一面上有三层布线层，所述布线层包括介质材料和金属导线。