[实用新型]一种晶体炉的坩埚加热装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种晶体炉的坩埚加热装置。

背景技术

传统晶体炉的设计相对简单，多采用鸟笼状或者编织的丝状加热器围绕在坩埚侧部，而在装有原料的坩埚顶部及底部，分别是简单的散热及保温装置，仅有一套侧加热器，晶体生长时固液界面无法有效调节，对长晶质量的控制有限，特别是随着晶体生长高度的增加，晶体下部轴向散热系统对固液界面的控制逐渐减弱，晶体生长的质量降低，如：在晶体生长的中后期出现了气泡带、杂质聚集区等等。亟需对现有晶体炉进行改进，提高对晶体生长的控制。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶体炉的坩埚加热装置。

本实用新型提供了一种晶体炉的坩埚加热装置，它包括顶部加热装置和侧壁加热装置。

进一步地，所述的顶部加热装置包括顶部加热器、顶部温度控制仪和顶部电源；所述的侧壁加热装置包括侧壁加热器、侧壁温度控制仪和侧壁电源。

更进一步地，顶部加热器连接在顶部加热器移动装置上；侧壁加热装置包括至少2个侧壁加热器。

进一步优选地，每个侧壁加热器距离坩埚侧壁的距离相同，且均匀分布在坩埚侧壁外。

进一步地，所述坩埚加热装置还包括底部加热装置；所述底部加热装置包括底部加热器、底部温度控制仪、底部电源和底部加热器移动装置。

本实用新型提供的坩埚加热装置，可自由控制坩埚各方位的加热温度，明显提高蓝宝石晶体的生长质量，具有较强的工业应用价值。

附图说明

图1本实用新型坩埚加热装置的结构示意图；

图2本实用新型坩埚加热装置的结构示意图；

其中，1-顶部加热器、2-顶部温度控制仪、3-顶部电源、4-侧壁加热器、5-侧壁温度控制仪、6-侧壁电源、7-加热器移动装置、8-底部加热器、9-底部温度控制仪、10-底部电源、11-底部加热器移动装置。

具体实施方式

结合图1、2可知，本实用新型为一种晶体炉的坩埚加热装置，它包括顶部加热装置和侧壁加热装置。

其中，所述的顶部加热装置包括顶部加热器1、顶部温度控制2和顶部电源3；所述的侧壁加热装置包括侧壁加热器4、侧壁温度控制仪5和侧壁电源6。

顶部加热器1连接在顶部加热器移动装置7上；侧壁加热装置包括至少2个侧壁加热器4。

每个侧壁加热器4距离坩埚侧壁的距离相同，且均匀分布在坩埚侧壁外。侧壁加热装置中至少2个加热器的设置，可在坩埚内不同高度实现可控的温度差，从而更有利于晶体生长。

所述坩埚加热装置还包括底部加热装置；所述底部加热装置包括底部加热器8、底部温度控制仪9、底部电源10和底部加热器移动装置11。

本实用新型，其顶部加热装置和侧壁加热装置均可实现自主控温，可以通过控制顶部、侧壁加热器的功率，来调节顶部和侧壁的温度，可以根据不同晶体生长需要来相应地调节坩埚各个部位的温度，使其适宜晶体生长。试验表明，采用本实用新型加热装置制备的蓝宝石晶体的质量明显优于现有晶体炉，气泡带和杂质聚集区明显减少。

本实用新型中，温度控制仪可以采用PLC模块技术，对温度趋势采取PID调节。

综上所述，本实用新型提供的坩埚加热装置，可自由控制坩埚各方位的加热温度，明显提高蓝宝石晶体的生长质量，具有较强的工业应用价值。