[实用新型]一种晶体炉的坩埚加热装置有效
| 申请号： | 201220468351.1 | 申请日： | 2012-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN203187786U | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 赵丽丽 | 申请（专利权）人： | 江苏有能光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 成都高远知识产权代理事务所(普通合伙) 51222 | 代理人： | 李高峡 |
| 地址： | 212132 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶体 坩埚 加热 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶体炉的坩埚加热装置，其特征在于：它包括顶部加热装置和侧壁加热装置。
2.根据权利要求1所述的坩埚加热装置，其特征在于：所述的顶部加热装置包括顶部加热器（1）、顶部温度控制仪（2）和顶部电源（3）；所述的侧壁加热装置包括侧壁加热器（4）、侧壁温度控制仪（5）和侧壁电源（6）。
3.根据权利要求2所述的坩埚加热装置，其特征在于：顶部加热器（1）连接在顶部加热器移动装置（7）上；侧壁加热装置包括至少2个侧壁加热器（4）。
4.根据权利要求3所述的坩埚加热装置，其特征在于：每个侧壁加热器（4）距离坩埚侧壁的距离相同，且均匀分布在坩埚侧壁外。
5.根据权利要求1所述的坩埚加热装置，其特征在于：所述坩埚加热装置还包括底部加热装置；所述底部加热装置包括底部加热器（8）、底部温度控制仪（9）、底部电源（10）和底部加热器移动装置（11）。
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