[实用新型]一种掩膜板

权利要求书

1.一种掩膜板，包括：光栅层，所述光栅层具有至少一个图形开口区域，其特征在于，还包括：

覆盖所述图形开口区域的柱状透镜；

所述柱状透镜的一侧为圆拱，另一侧面向所述光栅层，所述圆拱的圆心指向所述光栅层，且其跨度大于等于所述图形开口区域的宽度。

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述柱状透镜包括：

设置于所述光栅层的入光侧表面的柱状透镜；和/或，

设置于所述光栅层的出光侧表面的柱状透镜。

3.根据权利要求1或2所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板还包括：

设置于所述光栅层的入光侧表面的透明基板，所述透明基板的厚度小于所述柱状透镜的焦距；

相应的，所述柱状透镜设置于所述透明基板的入光侧表面。

4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述透明基板与所述柱状透镜为一体结构。

5.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述图形开口区域包括关键区域和非关键区域；

所述柱状透镜与所述关键区域一一对应。

6.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述柱状透镜的中心线与所述图形开口区域的中心线均在与所述光栅层垂直的面内。