[实用新型]一种掩模框架及其对应的蒸镀用掩模组件

说明书

技术领域

本实用新型涉及电子印刷领域，尤其涉及一种掩模框架及其对应的蒸镀用掩模组件。

背景技术

与现行LCD技术相较，利用有机发光二级管（OLED）技术所制成的显示器不仅具有可全彩化、反应时间快、高亮度(100~14,000cd/m2)、高流明效率(16~38lm/W)、170度以上的视角、无一般LCD残影、可制作成大尺寸与可挠曲性面板、能够在摄氏-30度~80度的范围内作业等优势，而且制程简单、整体厚度也能缩小至1mm以下、成本更仅有TFT-LCD的30~40%。因此，利用OLED技术所制成的显示器在深得社会欢迎。

目前，OLED技术所制成的显示器在小尺寸上已经达到量产技术，而且相对较为成熟。但为了通过同时制造多个OLED显示器以实现产量的提高，或者是制造出大尺寸的OLED显示器，就需要增大传统大衬底的尺寸，相应的就必须增大用于蒸镀有机材料的掩模组件的尺寸。

图1所示是传统用于蒸镀有机材料的掩模组件的结构示意图，其包括外框11及通过焊点120固定在外框11上的掩模部12，掩模部12是通过在两端施加拉力绷紧后焊接到外框11上，焊接后释放拉力。掩模组件水平放置时，由于掩模部12沿原来拉力反方向回缩导致外框11上下（图1中上下方位）支撑部分出现图中所示内凹现象，从而使得掩模部12出现下垂（特别是掩模部12中间区域），如此造成的后果是蒸镀得到的图案位置精度、尺寸大小相对都会有一定的偏差，从而影响产品的质量及良率。

中国专利申请号为2010101136655公开了一种掩模组件及用于使用该掩模组件的平板显示器的沉积设备，其主要结构在于：掩模组件的外框上设置有横跨外框构成的开口区域的支撑棒，从而减少掩模部的下垂量。中国专利专利号为01138161.2提供了一种用于制造大尺寸显示面板的掩模，其包括:具有多个孔的主框架，自掩模根据要制造的尺寸和图案而装配在主框架的孔内。以上方式在实现OLED显示器量产上有一定的作用，但在制作大尺寸显示屏上具有一定局限。

实用新型内容

有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本实用新型提供了一种掩模框架及其对应的蒸镀用掩模组件。

所述掩模框架包括外框, 所述外框包括两组对边，所述两组对边构成一个中空封闭矩形框架；固定杆,所述固定杆置于所述外框内侧且与掩模板一组对边连接；及固定机构，所述固定机构用于连接所述外框和置于所述外框内侧的所述固定杆，起到支撑所述固定杆，将向内收缩的所述固定杆向外进行拉伸，起到减少或弥补当所述固定杆将所述掩模板绷紧时产生的所述固定杆边框向内收缩量的作用。

根据本专利背景技术中对现有技术所述，如图1所示，当外框11的边受到向内的拉力时，外框11上下（图1中上下方位）支撑部分出现图1所示的内凹现象，从而造成了掩模部的下垂；此时调节所述连接机构则可以降低或弥补外框支撑部分内内凹情况，改善产品的精度、质量，并提高良品率。

另外，根据本实用新型公开的掩模框架的还具有如下附加技术特征：

根据本实用新型的实施例，所述中空封闭矩形框架为一体成型或由所述两组对边通过连接部件连接构成。

本实用新型公开的一种掩模框架更倾向于解决制备大尺寸面板的产品，虽然一体成型的所述封闭矩形框架在此方面有一定的优势，但当尺寸进一步增大时，则由通过连接部件连接构成的所述封闭矩形框架具有更明显的优势。

根据本实用新型的实施例，所述固定杆通过所述固定机构配合固定在所述外框的一组对边内侧上。

进一步地，所述外框与所述固定杆间设置有配合机构，且所述配合机构使所述外框和所述固定杆连接时具有间隙。

优选地，所述配合机构对称的设置在掩模框架的四个角附近。

进一步地，根据本实用新型的实施例，所述对应的配合机构是分别位于所述外框和所述固定杆接触部位具有精确定位的凸起结构和凹陷结构。

优选地，根据本实用新型的实施例，所述具有定位作用的凸起结构和凹陷结构是半径相同、配合后二者能够实现重合的圆柱体或者是可配合的梯形凸起结构和可与所述梯形凸起结构配合定位的凹陷结构或者是n大于等于1个柱状凸起结构和可与所述柱状凸起结构配合的凹陷结构，所述柱状突起结构和所述柱状凸起结构配合的凹陷结构的中心线重合且垂直于所述接触部位表面或者具有配合定位功能的突起球状结构和凹陷球冠腔室。

根据本实用新型的实施例，所述固定机构是螺丝和设置在所述外框上的螺丝沉头孔结构和设置在固定杆上的螺孔结构。

进一步地，所述螺丝为密纹螺丝。