[实用新型]单晶炉及其排气管道

权利要求书

1.一种排气管道，包括位于单晶炉底部部件上方的管路，其特征在于，所述管路为其首尾两端具有夹角的弯形管路（1），所述弯形管路（1）的夹角处设置有可密封的，且能够防止所述弯形管路（1）内的固体杂质直接下落至所述弯形管路（1）外部的通气孔（2）。

2.根据权利要求1所述的排气管道，其特征在于，所述通气孔（2）在所述弯形管路（1）的外侧壁形成的开口底端与所述通气孔（2）在所述弯形管路（1）的内侧壁形成的开口底端位于同一水平线上。

3.根据权利要求1所述的排气管道，其特征在于，所述通气孔（2）在所述弯形管路（1）的外侧壁形成的开口底端高于所述通气孔（2）在所述弯形管路（1）的内侧壁形成的开口底端。

4.根据权利要求1所述的排气管道，其特征在于，所述弯形管路（1）的首尾两端的夹角为直角。

5.根据权利要求1所述的排气管道，其特征在于，所述通气孔（2）为三个，且设置在所述弯形管路（1）的夹角处。

6.根据权利要求5所述的排气管道，其特征在于，三个所述通气孔（2）均通过抱箍（3）与盲堵（4）配合而进行密封。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的排气管道，其特征在于，所述弯形管路（1）的首尾两端均设置有波纹管（5）。

8.一种单晶炉，其特征在于，其具有上述权利要求1-7中任意一项所述的排气管道。