[实用新型]硅料自动超声清洗设备

权利要求书

1.一种硅料自动超声清洗设备，包括具有进料口及出料口的机架、设置在机架上的超声清洗池，其特征在于，还包括安装在机架上的自动机械臂，及与所述自动机械臂连接并带动所述自动机械臂运动的自动化控制系统。

2.根据权利要求1所述的硅料自动超声清洗设备，其特征在于，所述自动机械臂上安装有检测所述超声清洗池内是否有硅锭的检测传感器，所述检测传感器感应超声清洗池内是否放有硅锭并将检测结果传送给所述自动化控制系统。

3.根据权利要求1所述的硅料自动超声清洗设备，其特征在于，所述超声清洗池的底部或侧壁安装有检测传感器，所述检测传感器感应超声清洗池内是否放有硅锭并将检测结果传送给所述自动化控制系统。

4.根据权利要求1所述的硅料自动超声清洗设备，其特征在于，所述自动化控制系统通过气动或电动的方式驱动所述自动机械臂。

5.根据权利要求1所述的硅料自动超声清洗设备，其特征在于，还包括与进料口对应设置的带轮上料小车，所述自动化控制系统与所述带轮上料小车相连并控制带轮上料小车靠近或远离所述进料口。

6.根据权利要求5所述的硅料自动超声清洗设备，其特征在于，还包括与出料口对应设置的带轮下料小车，所述自动化控制系统与所述带轮下料小车相连并控制带轮下料小车靠近或远离所述出料口。

7.根据权利要求6所述的硅料自动超声清洗设备，其特征在于，还包括用以放置硅锭的承重托盘，所述承重托盘放置在所述带轮上料小车或带轮下料小车上。

8.根据权利要求1所述的硅料自动超声清洗设备，其特征在于，所述超声清洗池有两个以上。