[实用新型]一种六氟化硫气体净化提纯组罐

权利要求书

1.一种六氟化硫气体净化提纯组罐，其特征在于：由上至下依次设置排气罐（4）、第一液化罐（7）、第二液化罐（10），排气口（1）位于排气罐（4）顶部且设置有第一阀门（2），排气罐（4）与第一液化罐（7）连通且设置第二阀门（26）；第一液化罐（7）内有第一制冷盘管（28）且设置第二液位传感器（25），第一液化罐（7）侧壁下段设置进气口（22）；还包括三通管路（30）其中两端分别连接第一液化罐（7）底部和第二液化罐（10），近第二液化罐（10）端设置第三阀门（18），三通管路（30）的第三端为第二出液口（19）且设置有第六阀门（20）；第二液化罐（10）设有排气管（31）通入第一液化罐（7）内，排气管（31）出口位置高于进气口（22），排气管（31）设置第四阀门（8），第二液化罐（10）内设置第二制冷盘管（29），第二液化罐（10）底部设置有第一出液口（11），第一出液口（11）上设置第五阀门（12）。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫气体净化提纯组罐，其特征在于：排气罐（4）、第一液化罐（7）、第二液化罐（10）分别设置泄压阀和压力变送器接口。

3.根据权利要求1所述的六氟化硫气体净化提纯组罐，其特征在于：第一液化罐（7）内还设置有第二温度传感器（24），第二液化罐（10）内还设置有第一温度传感器（9）和第一液位传感器（13）。