[实用新型]一种硅片切割装置

权利要求书

1.一种硅片切割装置，包括将硅块切割成硅片的切割机，其特征在于，该装置还包括冷却单元，所述冷却单元用于将所述硅块进行切割时产生的切割热带走； 

该装置还包括支撑单元，所述支撑单元用于支撑所述硅块，所述冷却单元设置于所述支撑单元上和/或所述支撑单元内。 

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述支撑单元包括垫板，所述硅块通过粘胶层连接在所述垫板上，所述冷却单元设置于所述垫板上和/或垫板内。 

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述支撑单元还包括盖板，所述盖板与所述垫板连接，且盖板与硅块分处于垫板的两侧，所述硅片切割装置还包括吊起单元，所述吊起单元包括有吊钩，所述盖板上设有与所述吊钩形状相适配的吊起部。 

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述吊起部为设置在盖板上的燕尾槽，所述燕尾槽设置在盖板与导轨连接一侧的相对侧上，所述燕尾槽的深度范围为10-20mm。 

5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述支撑单元还包括设置在盖板和垫板之间的导轨，所述导轨用于衔接盖板和垫板，所述冷却单元设置于所述盖板与导轨之间，和/或，导轨与垫板之间。 

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述冷却单元包括管路，所述管路的内部流通有冷却液； 

所述盖板与导轨连接的一侧的表面上设有与所述冷却单元中的管路形状相适配的凹槽，冷却单元中的所述管路能够嵌入盖板 的凹槽内；或者，所述导轨与盖板连接的一侧的表面上设有与所述冷却单元中的管路形状相适配的第一凹槽，冷却单元中的所述管路能够嵌入导轨的第一凹槽内； 

和/或， 

所述导轨与垫板连接的一侧的表面上设有与所述冷却单元中的管路形状相适配的第二凹槽，冷却单元中的所述管路能够嵌入导轨的第二凹槽内；或者，所述垫板与导轨连接的一侧的表面上设有与所述冷却单元形状相适配的第三凹槽，冷却单元中的所述管路能够嵌入垫板的第三凹槽内； 

和/或， 

所述垫板内设有与所述冷却单元中的管路形状相适配的第四凹槽，冷却单元中的所述管路能够嵌入垫板的第四凹槽内。 

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述冷却单元中的管路形状呈S型或回字形，管路排布间距范围为1-840mm；所述管路的管体直径范围为1-50mm，管路的管壁厚度范围为1-20mm。 

8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述盖板和所述导轨均采用金属或合金材料制作；所述垫板采用玻璃制作；所述冷却单元中的管路采用金属、非金属、合金、或者塑料材料制作；所述冷却液采用去离子水、煤油或乳化液。 

9.根据权利要求5-8之一所述的装置，其特征在于，所述盖板与导轨通过螺栓连接；垫板的形状为长条形，其长度范围是1-1500mm，宽度范围为1-400mm，厚度范围为1-100mm；所述导轨的形状为长条形，其长度范围为1-1500mm，宽度范围为1-300mm，厚度范围为1-100mm。