[实用新型]一种涂布设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶面板及半导体生产技术领域，特别涉及一种涂布设备。

背景技术

目前，在液晶面板以及半导体生产中，传统工艺为在基板上均匀涂布感光材料，利用掩膜版（mask）进行紫外线曝光并随后进行显像等处理，最终得到相应掩膜版的图案。

以阵列（Array）基板为例，感光材料的涂布是阵列基板制造工艺过程中十分重要的一道工序。

通用的技术中使用的感光材料涂布方式有两种。一种涂布方式为：预先使用涂布设备将感光材料涂布于基板之上，之后将涂布有感光材料的基板放在离心设备上进行高速旋转，从而将基板上的感光材料通过旋转的离心力甩匀，之后利用负压进行低压干燥，将边缘感光材料去除，进入固化设备对基板上均匀的感光材料进行加热固化，之后进行曝光，化学品显像，最终得到相应掩膜版的图案。

另一种涂布方式为直接涂布方式，即使用涂布设备一次性将感光材料均匀的涂布于基板之上。

上述感光材料的两种涂布方式均是利用涂布设备涂布感光材料；涂布设备包括机架、喷嘴以及用于放置待涂布基板的涂布平台；涂布平台与机架固定连接，喷嘴可滑动地安装于机架，涂布平台水平放置，喷嘴位于涂布平台的上方；在具体涂布过程中，先将待涂布的基板平整的放在涂布平台上，利用涂布设备的喷嘴将感光材料均匀的涂布于基板上。喷嘴在喷涂感光材料时，喷嘴与基板的上表面之间的间隙非常小，一般情况下为0.1-0.3mm。

在现有的技术中，使用喷嘴进行感光材料涂布时，经常会出现基板与涂布平台之间有异物，或基板的上表面上有异物，导致喷嘴在涂布感光材料时，喷嘴与基板的上表面或者基板上表面的异物发生碰撞，由于喷嘴喷涂感光材料的非常小，喷嘴与基板的上表面或者基板上表面的异物发生碰撞后会导致喷嘴发生变形，从而导致喷嘴受损或直接损坏，同时，喷嘴受损或者损坏后还会造成基板涂布工艺不良现象。

喷嘴的维修费用很高，因此喷嘴的损坏会给厂家造成很大的经济损失；同时，基板的涂布工艺不良会直接影响基板产品的质量，甚至造成基板产品的报废，进一步给厂家造成经济损失。

因此，如何提供一种能够防止喷嘴与异物发生碰撞的涂布设备，以防止喷嘴在涂布时受到损伤，降低基板的涂布工艺不良，是本领域技术人员需要解决的技术问题之一。

实用新型内容

本实用新型提供一种具有喷嘴前端防护装置的涂布设备，能够防止喷嘴与异物发生碰撞，防止喷嘴在涂布时受到损伤，降低基板因喷嘴损伤造成的涂布工艺不良。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种涂布设备，包括喷嘴和用于放置待涂布基板的涂布平台；还包括：

感应模块，用于采集所述涂布平台或基板上、位于所述喷嘴前方异物的信息；

信号处理模块，信号连接所述感应模块，根据所述感应模块采集的信息判断存在异物时生成执行信号；

执行模块，信号连接所述信号处理模块，根据所述信号处理模块的执行信号控制所述喷嘴停止涂布作业。

优选地，所述执行模块为：喷嘴控制装置，所述喷嘴控制装置与所述信号处理模块信号连接；和/或

报警装置，所述报警装置与所述信号处理模块信号连接。

优选地，所述感应模块包括：

感应所述喷嘴行走方向前方光线的光感应器，设置于所述喷嘴上；

第一支架，第一端设置于所述喷嘴上，第二端沿所述喷嘴的行走方向向前伸出且低于所述光感应器的安装高度；

挡板，位于所述光感应器前方，所述挡板的底端面不高于所述喷嘴的底端面，所述挡板的上端面位于所述光感应器的下端面和上端面之间，所述挡板与所述第一支架的第二端铰接并可绕其铰接轴线旋转，所述铰接轴线的延伸方向与喷嘴的行走方向垂直并且与涂布平台所在的平面平行。

优选地，所述感应模块还包括光源，所述光源设置于所述涂布平台上；所述挡板位于所述光源与所述光感应器之间。

优选地，所述喷嘴的上端面可拆卸地固定安装有第一固定块，所述光感应器和所述第一支架设置于所述第一固定块上。

优选地，所述感应模块包括：

至少一个信号收发器，安装于所述喷嘴前端面，用于向所述喷嘴行走方向前方的涂布平台以及基板发射感应信号并接受涂布平台以及基板的反馈信号。

优选地，所述感应模块还包括：

第二支架，第一端设置于所述喷嘴上，第二端沿所述喷嘴的行走方向向前伸出；