[实用新型]一种空气刀装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及液晶显示面板生产加工技术领域，特别涉及一种空气刀装置。

背景技术

随着九十年代TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜场效应晶体管液晶显示器)技术的成熟，液晶显示面板由于其平板、轻薄、低功耗、多样化、环保性等优点得到迅速发展。随着液晶显示面板中玻璃基板的大型化，为保证产品的合格率，TFT-LCD的生产技术中各步工艺的均一性要求面临着更大的挑战。

其中，湿法刻蚀是TFT-LCD加工工艺中重要的一环，利用混合酸液对玻璃表面光刻胶未覆盖的金属进行刻蚀，从而形成所需要的金属图案。而在实际工艺过程中，刻蚀设备刻蚀反应单元的出口处安装有空气刀装置，空气刀装置用于截留刻蚀液，减少产品对刻蚀液的带出量，降低生产成本；空气刀装置还可以用来对湿法刻蚀工艺中的清洗液进行截留等。

如图1所示，图1为现有技术中的一种空气刀装置的侧视剖视截面结构示意图。

图1所示方位的空气刀装置主要包括具有板状结构的气刀本体，气刀本体有通过固定件4固定连接的第一板体1和第二板体2组成，第一板体1和第二板体2中相对的两个面之间形成气体腔室6，第一板体1和第二板体2的下端形成喷嘴部，如图1中所示A区域，第一板体1上具有至少一个与气体腔室6流体连通的气体通入口3，且上述喷嘴部的下端具有一线缝隙状的气体喷射口5，气体喷射口5与气体腔室6流体连通；高压气体通过气体通入口3通入气体腔室6，并通过气体喷射口5喷向玻璃基板，以对玻璃基板上的刻蚀液进行截留。

由于空气刀装置的第一板体1一般对应的是刻蚀液及清洗液的喷淋单元，刻蚀液以及清洗液会溅落到第一板体1上，而气体喷射口5位于气刀本体的下端，且横向延伸，溅落在第一板体1上的刻蚀液及清洗液的液滴汇聚形成的液流会流向气刀本体的下端，并在气体喷射口5处流下，气体喷射口5处流下的液流会影响缝隙状的气体喷射口5喷射气幕的均匀性，导致气体喷射口5喷射的气幕分叉不均，造成气体喷射口5对玻璃基板上残留的刻蚀液的截留不均匀，造成产品中由于残留刻蚀液不均匀造成的各种不良，甚至造成产品直线不良区域的出现，严重影响了产品的质量。

实用新型内容

本实用新型提供一种空气刀装置，能够降低液流对气体喷射口形成的气幕均匀性的影响，进而提高产品质量。

为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种用于湿法刻蚀设备的空气刀装置，包括气刀本体，所述气刀本体包括固定连接、且相对的两个面形成气体腔室的第一板体和第二板体，所述第一板体和第二板体的一端形成具有一线气体喷射口的喷嘴部，所述气体喷射口与气体腔室流体连通，所述第一板体具有与气体腔室流体连通的至少一个气体通入口;

所述第一板体背离所述气体腔室的外表面形成用于将第一板体上汇聚的液体导离气体喷射口对应区域的至少一个导流槽，所述导流槽贯穿所述第一板体的长度方向。

优选地，所述第二板体背离所述气体腔室的外表面形成用于将第二板体上汇聚的液体导离气体喷射口对应区域的至少一个导流槽。

优选地，第二板体背离所述气体腔室的外表面具有两个导流槽。

优选地，所述第一板体和第二板体通过两排紧固螺丝固定连接，每一个所述紧固螺丝由第二板体穿过与第一板体固定连接，且每一排所述固定螺丝在所述第二板体上的一个导流槽内均匀分布。

优选地，一个所述导流槽的两个侧壁中，靠近所述气体喷射口的第一侧壁与导流槽的槽底之间的夹角为锐角。

优选地，至少一个所述导流槽的两个侧壁中，靠近所述气体喷射口的第一侧壁具有导流坡；沿所述导流坡的导流顶点指向导流底点的方向，所述导流坡的上游点距所述喷嘴部的端表面的距离，大于所述导流坡的下游点距所述喷嘴部的端表面的距离。

优选地，所述第一侧壁具有一个导流坡，所述导流坡的导流顶点为第一侧壁的一端，所述导流坡的导流底点为第一侧壁的另一端。

优选地，所述第一侧壁具有两个导流坡，两所述导流坡具有同一个导流顶点，一所述导流坡的导流底点为第一侧壁的一端，另一所述导流坡的导流底点为第一侧壁的另一端。

优选地，所述气体通入口为多个，且沿所述气刀本体的长度方向均匀分布。

优选地，所述第一板体与第二板体相对的两个面之间具有密封垫片。