[实用新型]一种空气刀装置

权利要求书

1.一种用于湿法刻蚀设备的空气刀装置，包括气刀本体，所述气刀本体包括固定连接、且相对的两个面形成气体腔室的第一板体和第二板体，所述第一板体和第二板体的一端形成具有一线气体喷射口的喷嘴部，所述气体喷射口与气体腔室流体连通，所述第一板体具有与气体腔室流体连通的至少一个气体通入口，其特征在于，

所述第一板体背离所述气体腔室的外表面形成用于将第一板体上汇聚的液体导离气体喷射口对应区域的至少一个导流槽，所述导流槽贯穿所述第一板体的长度方向。

2.根据权利要求1所述的空气刀装置，其特征在于，所述第二板体背离所述气体腔室的外表面形成用于将第二板体上汇聚的液体导离气体喷射口对应区域的至少一个导流槽。

3.根据权利要求2所述的空气刀装置，其特征在于，第二板体背离所述气体腔室的外表面具有两个导流槽。

4.根据权利要求3所述的空气刀装置，其特征在于，所述第一板体和第二板体通过两排紧固螺丝固定连接，每一个所述紧固螺丝由第二板体穿过与第一板体固定连接，且每一排所述固定螺丝在所述第二板体上的一个导流槽内均匀分布。

5.根据权利要求1所述的空气刀装置，其特征在于，一个所述导流槽的两个侧壁中，靠近所述气体喷射口的第一侧壁与导流槽的槽底之间的夹角为锐角。

6.根据权利要求1所述的空气刀装置，其特征在于，至少一个所述导流槽的两个侧壁中，靠近所述气体喷射口的第一侧壁具有导流坡；沿所述导流坡的导流顶点指向导流底点的方向，所述导流坡的上游点距所述喷嘴部的端表面的距离，大于所述导流坡的下游点距所述喷嘴部的端表面的距离。

7.根据权利要求6所述的空气刀装置，其特征在于，所述第一侧壁具有一个导流坡，所述导流坡的导流顶点为第一侧壁的一端，所述导流坡的导流底点为第一侧壁的另一端。

8.根据权利要求6所述的空气刀装置，其特征在于，所述第一侧壁具有两个导流坡，两所述导流坡具有同一个导流顶点，一所述导流坡的导流底点为第一侧壁的一端，另一所述导流坡的导流底点为第一侧壁的另一端。

9.根据权利要求1所述的空气刀装置，其特征在于，所述气体通入口为多个，且沿所述气刀本体的长度方向均匀分布。

10.根据权利要求1-9任一项所述的空气刀装置，其特征在于，所述第一板体与第二板体相对的两个面之间具有密封垫片。