[实用新型]一种用于异质结薄膜沉积系统组态有效
| 申请号： | 201220355586.X | 申请日： | 2012-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN202730236U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 异质结 薄膜 沉积 系统 组态 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于异质结薄膜沉积系统组态分别跨越两种不同洁净区域的第一区域、第二区域极第三区域，其中第一区域的环境洁净度高于第二区域极第三区域；该异质结薄膜沉积系统组态依序包含加载区、自动交换区、第一承载室、第二承载室、第三承载室及多个镀膜反应室、沉积室和卸载区。
2.根据权利要求1所述之一种用于异质结薄膜沉积系统组态，其中该加载区、自动交换区和卸载区设置于第一区域内。
3.根据权利要求第1项所叙述之一种用于异质结薄膜沉积系统组态，其中该第一承载室、第二承载室、第三承载室及多个镀膜反应室、沉积室设置于第二区域内。
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