[实用新型]晶圆定位装置

权利要求书

1.一种晶圆定位装置，其特征在于：包括环状底座、中空盖子、标准晶圆、摄像机、计算机和摄像机支架，所述中空盖子盖在所述环状底座上，所述环状底座固定安装在涂胶槽内，真空吸附式卡盘通过所述环状底座的中空部分与涂胶槽内的旋转电机相连，真空吸附式卡盘与所述标准晶圆接触面略高于中空盖子上表面，所述摄像机支架固定安装在所述中空盖子的一侧上方，所述摄像机支架的主体为“匚”字型结构，所述摄像机固定安装在摄像机支架上，所述摄像机支架上设有刻度表，所述刻度表正对摄像机的镜头，所述刻度表与所述摄像机的镜头分别设在所述标准晶圆的边缘区域的上下两侧，所述标准晶圆的四周设有角度标识。

2.如权利要求1所述的晶圆定位装置，其特征在于：所述“匚”字型结构包括下底板、上底板和连接板，所述下底板的一侧与所述上底板的一侧，通过所述连接板连接，所述刻度表设置于所述下底板的上表面，所述摄像机对应所述刻度表固定安装于上底板的下表面。

3.如权利要求1所述的晶圆定位装置，其特征在于：所述中空盖子的外缘表面与所述环状底座外缘表面设有对应的对准标记，所述中空盖子与所述环状底座根据所述对准标记对准连接，所述环状底座上设有限位装置。

4.如权利要求1所述的晶圆定位装置，其特征在于：所述刻度表为长度刻度表。

5.如权利要求4所述的晶圆定位装置，其特征在于：所述刻度表的量程从-2.5毫米到2.5毫米，每0.5毫米设置一个刻度线，0毫米的刻度线与真空吸附式卡盘的旋转轴心的距离为晶圆的半径。

6.如权利要求1-5中任意一项所述的晶圆定位装置，其特征在于：所述中空盖子与所述摄像机支架上设有对应的小孔，所述中空盖子通过所述小孔以及紧固件与所述摄像机支架连接。