[实用新型]一种适用于通过铸锭方法生产单晶硅锭的铸锭炉有效
| 申请号： | 201220282936.4 | 申请日： | 2012-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN202766652U | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 甘大源;陈文杰;刘坤 | 申请（专利权）人： | 甘大源 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 215422 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 通过 铸锭 方法 生产 单晶硅 | ||
【权利要求书】：
1.一种适用于通过铸锭方法生产单晶硅锭的铸锭炉，包括炉体（1）、所述炉体（1）内的硅熔融锅（2），其特征在于：所述炉体（1）上方设置旋转丝杆（3）伸入所述硅熔融锅（2）内，所述旋转丝杆（3）底部安装仔晶，所述旋转丝杆（3）上设置距离传感装置（4），传感所述旋转丝杆（3）底部到所述硅熔融锅（2）内熔融硅液面的距离。
2.根据权利要求1所述的一种适用于通过铸锭方法生产单晶硅锭的铸锭炉，其特征在于：所述旋转丝杆（3）底端为伸缩结构（5）。
3. 根据权利要求1所述的一种适用于通过铸锭方法生产单晶硅锭的铸锭炉，其特征在于：所述旋转丝杆（3）上端安装氩气引流罩（6）与所述炉体（1）相连。
4. 根据权利要求1所述的一种适用于通过铸锭方法生产单晶硅锭的铸锭炉，其特征在于：所述炉体（1）内在所述硅熔融锅（2）上方设置有可调温加热器（7）。
5. 根据权利要求1所述的一种适用于通过铸锭方法生产单晶硅锭的铸锭炉，其特征在于：所述炉体（1）壁面上设置有观察窗（8）。
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