[实用新型]晶圆标记的位置检查装置

权利要求书

1.一种晶圆标记的位置检查装置，其特征在于，包括：

设置有弧形卡槽的卡板，和

设置有标记可视框的定位板；

其中，所述弧形卡槽的形状被设置为与晶圆的标记所在的边缘部分的边沿形状相对应，所述定位板的一端在所述弧形卡槽的中央位置处垂直固定在所述卡板上，以使所述弧形卡槽与边缘部分相卡合时、所述标记可视框相对所述弧形卡槽的位置与所述晶圆上的标记区域相对所述边缘部分的边沿的位置相对应。

2.如权利要求1所述的晶圆标记的位置检查装置，其特征在于，所述弧形卡槽的内径等于所述晶圆的直径。

3.如权利要求1所述的晶圆标记的位置检查装置，其特征在于，所述弧形卡槽与标记处所对应的晶圆边沿相卡合时，所述定位板经过所述晶圆的圆心。

4.如权利要求1所述的晶圆标记的位置检查装置，其特征在于，所述标记可视框在所述定位板上对应于所述标记区域挖孔形成。

5.如权利要求1或4所述的晶圆标记的位置检查装置，其特征在于，所述标记可视框为方形。

6.如权利要求1所述的晶圆标记的位置检查装置，其特征在于，所述定位板的长度大于所述晶圆的直径，所述定位板的宽度大于所述标记区域的宽度。

7.如权利要求1所述的晶圆标记的位置检查装置，其特征在于，设置所述弧形卡槽的长度和高度以使所述标记可视框对应落在所述弧形卡槽的弧形区域范围内。