[实用新型]用于硅片清洗的前置机械手有效
| 申请号： | 201220274427.7 | 申请日： | 2012-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN202726916U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 李继忠 | 申请（专利权）人： | 常州市科沛达超声工程设备有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/08 | 分类号： | B25J9/08;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人： | 孙彬 |
| 地址： | 213025 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 硅片 清洗 前置 机械手 | ||
1.一种用于硅片清洗的前置机械手，包括防腐框架（1）、固定框（2）和Y轴滑块（3），防腐框架（1）通过导轨副可滑动地支撑在固定框（2）上，防腐框架（1）上固定有X轴驱动装置（4）和Y轴驱动装置（5），X轴驱动装置（4）通过齿轮齿条副与固定框（2）相连接，Y轴驱动装置（5）通过滚珠丝杠副与Y轴滑块（3）固定连接，Y轴滑块（3）上固定连接有升降臂（6），升降臂（6）上固定连接有挂钩装置（7），其特征在于：滚珠丝杠副安装在防腐框架（1）内，防腐框架（1）上设有防腐折叠布（8），Y轴滑块（3）和滚珠丝杠副均位于防腐折叠布（8）的一侧，升降臂（6）穿过防腐折叠布（8），挂钩装置（7）位于防腐折叠布（8）的另一侧，升降臂（6）和齿轮齿条副之间设置有防腐隔离板（9）。
2.根据权利要求1所述的用于硅片清洗的前置机械手，其特征在于：所述的齿轮齿条副由齿轮（10）和齿条（11）组成，齿轮（10）套装在X轴驱动装置（4）的输出轴上，齿条（11）固定在所述的固定框（2）上。
3.根据权利要求1所述的用于硅片清洗的前置机械手，其特征在于：所述的滚珠丝杠副包括丝杠（12）和螺母（13），丝杠（12）与Y轴驱动装置（4）活动连接，螺母（13）与Y轴滑块（3）固定连接，螺母（13）通过螺纹连接在丝杠（12）上。
4.根据权利要求1所述的用于硅片清洗的前置机械手，其特征在于：所述的导轨副由圆形直线导轨（14）和滑块（15）组成，圆形直线导轨（14）安装在固定框（2）上，滑块（15）固定连接在防腐框架（1）上。
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