[实用新型]用于硅片清洗的前置机械手

说明书

技术领域

 本实用新型涉及一种用于硅片清洗的前置机械手，属于机械自动化技术领域。

背景技术

目前，在清洗行业中尤其是硅片的清洗，许多的清洗工艺都要求用氢氟酸、硝酸等强酸溶液。负载不大，但对整个机械手装置的防腐要求较高，现有技术的机械手的传动部位没有和强酸环境分离开，容易导致腐蚀，传动不精确，不利于强酸环境的使用。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术的不足，提供一种具有防腐功能的用于硅片清洗的前置机械手。

实现本实用新型目的的技术方案是：一种用于硅片清洗的前置机械手，包括防腐框架、固定框和Y轴滑块，防腐框架通过导轨副可滑动地支撑在固定框上，防腐框架上固定有X轴驱动装置和Y轴驱动装置，X轴驱动装置通过齿轮齿条副与固定框相连接，Y轴驱动装置通过滚珠丝杠副与Y轴滑块固定连接，Y轴滑块上固定连接有升降臂，升降臂上固定连接有挂钩装置，滚珠丝杠副安装在防腐框架内，防腐框架上设有防腐折叠布，Y轴滑块和滚珠丝杠副均位于防腐折叠布的一侧，升降臂穿过防腐折叠布，挂钩装置位于防腐折叠布的另一侧，升降臂和齿轮齿条副之间设置有防腐隔离板。

进一步，所述的齿轮齿条副由齿轮和齿条组成，齿轮套装在X轴驱动装置的输出轴上，齿条固定在所述的固定框上。

进一步，所述的滚珠丝杠副包括丝杠和螺母，丝杠与Y轴驱动装置活动连接，螺母与Y轴滑块固定连接，螺母通过螺纹连接在丝杠上。

更进一步，所述的导轨副由圆形直线导轨和滑块组成，圆形直线导轨安装在固定框上，滑块固定连接在防腐框架上。

采用了上述技术方案后，Y轴驱动装置带动丝杠转动的同时实现螺母的上下运动，即实现升降臂的Y轴上下运行，X轴驱动装置驱动齿轮转动，从而驱动齿条实现X轴的移动，从而使整个机械手装置在X轴上左右移动；导轨副辅助其运动，使机械手运行更为平稳可靠；通过防腐隔离板的设置，使得X轴的传动部位齿轮齿条副与强酸溶液隔离开，通过防腐折叠布的设置，使得Y轴的传送部位滚珠丝杠副与强酸溶液隔离开，这样就使得机械手整个传动部位与强酸环境分离开，具有一定的防腐功能，延长了机械手的使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型的用于硅片清洗的前置机械手的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，

如图1所示，一种用于硅片清洗的前置机械手，包括防腐框架1、固定框2和Y轴滑块3，防腐框架1通过导轨副可滑动地支撑在固定框2上，防腐框架1上固定有X轴驱动装置4和Y轴驱动装置5，X轴驱动装置4通过齿轮齿条副与固定框2相连接，Y轴驱动装置5通过滚珠丝杠副与Y轴滑块3固定连接，Y轴滑块3上固定连接有升降臂6，升降臂6上固定连接有挂钩装置7，滚珠丝杠副安装在防腐框架1内，防腐框架1上设有防腐折叠布8，Y轴滑块3和滚珠丝杠副均位于防腐折叠布8的一侧，升降臂6穿过防腐折叠布8，挂钩装置7位于防腐折叠布8的另一侧，升降臂6和齿轮齿条副之间设置有防腐隔离板9。齿轮齿条副由齿轮10和齿条11组成，齿轮10套装在X轴驱动装置4的输出轴上，齿条11固定在所述的固定框2上。滚珠丝杠副包括丝杠12和螺母13，丝杠12与Y轴驱动装置4活动连接，螺母13与Y轴滑块3固定连接，螺母13通过螺纹连接在丝杠12上。导轨副由圆形直线导轨14和滑块15组成，圆形直线导轨14安装在固定框2上，滑块15固定连接在防腐框架1上。

本实用新型的工作原理如下：

Y轴驱动装置5带动丝杠12转动的同时实现螺母13的上下运动，即实现升降臂6的Y轴上下运行，X轴驱动装置4驱动齿轮10转动，从而驱动齿条11实现X轴的移动，从而使整个机械手装置在X轴上左右移动。导轨副辅助其运动，使机械手运行更为平稳可靠；通过防腐隔离板9的设置，使得X轴的传动部位齿轮齿条副与强酸溶液隔离开，通过防腐折叠布8的设置，使得Y轴的传送部位滚珠丝杠副与强酸溶液隔离开，这样就使得机械手整个传动部位与强酸环境分离开，具有一定的防腐功能，延长了机械手的使用寿命。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。