[实用新型]一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，属于近场光学、电子触控设计技术和激光微加工技术领域。

背景技术

传统的触摸屏导电材料基材多为PET和GLASS，此类基材多数为国外进口材料，供货周期较长且成本较高，有较多的局限性；况且现触摸屏领域都为单面蚀刻工艺进行，这样无法降低触摸屏产品最终的厚度，制约了触摸屏向较薄方向发展的进程；若使用以有机玻璃为基底的制作工艺在国内可以很容易找到合适材料，且价格相对低廉，制造工艺较为简单，对设备的成本和材料成本有较大的改善；再加上双面制成工艺，可以将触摸屏产品厚度再降低1mm左右，在触摸屏领域上是一个新的突破；

但是，传统的湿刻触摸屏上导电膜层线路实现宽度最细只能达到80um，且良品率较低，线性不均匀，更换不同批次产品较为繁琐，需要用化学药水清洗，污染环境；绷网张力值较小，成品材料耐磨性、耐化学药品性较差，易老化发脆。这种印刷方式工序复杂、生产中需要较多耗材，产线需要较多人力维护，局限性较大。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供加工简单、效率高且无需耗材的一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置。

本实用新型的目的是这样实现的：一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，所述装置包含有激光刻蚀设备，所述激光刻蚀设备包含有激光器、光闸、1/2波片、格兰棱镜、扩束镜、全反镜片、振镜系统和远心场镜，所述激光器发出的激光经过电动光闸进入扩束镜进行同轴扩束，经扩束镜扩束后的激光到达全反镜片，经全反镜片反射后的激光经由1/2波片和格兰棱镜后射入振镜系统，射出振镜系统经远心场镜聚焦到作为待加工件的有机玻璃的导电膜层上。

本实用新型一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，所述激光器为高频率短脉冲激光器。

本实用新型一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，所述装置包含有高度测量仪，且高度测量仪设置于振镜系统上。

本实用新型一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，所述高度测量仪为非接触式高度测量仪。

本实用新型一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，所述激光器、振镜系统和高度测量仪均通过通讯系统与工控机相连。

本实用新型一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，所述作为待加工件的有机玻璃通过夹紧气缸进行固定，所述作为待加工件的有机玻璃的导电膜层的上方设置有一CCD对位观察系统。

本实用新型一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，所述作为待加工件的有机玻璃的导电膜层的上方两侧分别设置有集尘系统和吹气系统。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过运用高频率的短脉冲激光器作为激光源，对不同触摸屏产品中有机玻璃的双面导电膜层（ITO导电膜层）同时进行激光蚀刻，使有机玻璃导电膜层在高频率的短脉冲固体激光器的作用下气化而达到蚀除的目的，通过高精度平台的移动拼接和小幅面振镜蚀刻来完成这些导电薄膜材料的蚀刻，其中非接触式高度测量仪时时校准保证了激光蚀刻工作距的稳定性，产生的粉尘在经过特制的吹气系统和大流量积尘系统集尘，加工出无污染、线性稳定、功能完好的触摸屏电子产品。

附图说明

图1为本实用新型一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置的结构示意图。

其中：

激光器1、光闸2、1/2波片3、格兰棱镜4、扩束镜5、全反镜片6、振镜系统7、远心场镜8、CCD对位观察系统9、集尘系统10、吹气系统11、待加工件12、夹紧气缸13、工控机14、通讯系统15、高度测量仪16。

具体实施方式