[实用新型]一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置有效
| 申请号： | 201220266390.3 | 申请日： | 2012-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN202667928U | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 赵裕兴;狄建科;张伟;益凯劼;张子国;蔡仲云;闫华 | 申请（专利权）人： | 江阴德力激光设备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/04;B23K26/03;B23K26/14 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人： | 唐纫兰;沈国安 |
| 地址： | 214434 江苏省无锡市江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 激光 刻蚀 有机玻璃 双面 导电 装置 | ||
1.一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，其特征在于：所述装置包含有激光刻蚀设备，所述激光刻蚀设备包含有激光器（1）、光闸（2）、1/2波片（3）、格兰棱镜（4）、扩束镜（5）、全反镜片（6）、振镜系统（7）和远心场镜（8），所述激光器（1）发出的激光经过电动光闸（2）进入扩束镜（5）进行同轴扩束，经扩束镜（5）扩束后的激光到达全反镜片（6），经全反镜片（6）反射后的激光经由1/2波片（3）和格兰棱镜（4）后射入振镜系统（7），射出振镜系统（7）经远心场镜（8）聚焦到作为待加工件（12）的有机玻璃的导电膜层上。
2.如权利要求1所述一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，其特征在于：所述激光器（1）为高频率短脉冲激光器。
3.如权利要求1所述一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，其特征在于：所述装置包含有高度测量仪（16），且高度测量仪（16）设置于振镜系统（7）上。
4.如权利要求3所述一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，其特征在于：所述高度测量仪（16）为非接触式高度测量仪。
5.如权利要求1或2或3所述一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，其特征在于：所述激光器（1）、振镜系统（7）和高度测量仪（16）均通过通讯系统（15）与工控机（14）相连。
6.如权利要求5所述一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，其特征在于：所述作为待加工件（12）的有机玻璃通过夹紧气缸（13）进行固定，所述作为待加工件（12）的有机玻璃的导电膜层的上方设置有一CCD对位观察系统（9）。
7.如权利要求6所述一种脉冲激光刻蚀有机玻璃上双面导电膜层的装置，其特征在于：所述作为待加工件（12）的有机玻璃的导电膜层的上方两侧分别设置有集尘系统（10）和吹气系统（11）。
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