[实用新型]板式PECVD下料位快速散热及除尘装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及板式PECVD。

背景技术

现有技术中，板式PECVD存在如下两个问题：一是硅片上表面容易附着氮化硅粉尘，造成印刷粗点或断删。二是硅片自然散热较慢，影响产品转换效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题就是提供一种板式PECVD下料位快速散热及除尘装置，避免硅片上表面附着氮化硅粉尘，同时加快硅片散热。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：板式PECVD下料位快速散热及除尘装置，其特征在于：在下料位的缓冲台上安装有风扇向镀膜后的硅片吹风来快速散热及去除硅片上表面氮化硅粉尘。

作为优选，所述风扇设有两组，两组风扇设置的高度均为20CM。

作为优选，所述每组风扇的数量及位置与下料位下料硅片一一对应设置。

作为优选，所述两组风扇的吹风口与缓冲台平面呈30的角度面对面设置。

作为优选，所述风扇由变频器控制，风扇电源为24V电源，下料位处安装热电偶和温控器，风扇电源连接保护断路器，保护断路器一路出线连接温控器到热电偶，保护断路器另一路出线连接变频器。

本实用新型在下料位的缓冲台上安装有风扇向镀膜后的硅片吹风来快速散热及去除硅片上表面氮化硅粉尘，其中每组风扇的个数及水平方向与石墨框承载的硅片一一对应，以实现均匀充分散热及全面清除粉尘；而与缓冲台平面呈30左右的角度，则能够完全清除粉尘；与缓冲台平面的高度选择参照风扇的风力最大程度的散热及除尘，且不会造成碎片；下料位处安装热电偶和温控器，及时监控温度并自动调节风扇的转速，保持温度稳定；选择耐高温材质的风扇减少风扇损坏；安装时加装断路器的保护装置可以避免故障时损坏设备。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步描述：

图1为本实用新型主视图；

图2为本实用新型俯视图。

具体实施方式

结合图1和图2具体说明本实用新型板式PECVD下料位快速散热及除尘装置的实施例，在下料位的缓冲台1上安装有风扇2向镀膜后的硅片吹风来快速散热及去除硅片上表面氮化硅粉尘。所述风扇设有两组，两组风扇设置的高度均为20CM。所述每组风扇的数量及位置与下料位下料硅片一一对应设置。所述两组风扇的吹风口与缓冲台平面呈30的角度面对面设置。所述风扇由变频器控制，风扇电源为24V电源，下料位处安装热电偶和温控器，风扇电源连接保护断路器，保护断路器一路出线连接温控器到热电偶，保护断路器另一路出线连接变频器。

从设备220V电源上接出24V的电源，连接到保护断路器，一路连接温控器到热电偶，另一路连接变频器到风扇。

原理：通过热电偶监控下料位的温度，通过温控器和变频器及时控制风扇的转速，调节风速达到保持温度恒定。