[实用新型]板式PECVD下料位快速散热及除尘装置有效
| 申请号： | 201220252441.7 | 申请日： | 2012-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN202558932U | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 马祖兵;朱钰;张志强;应凯 | 申请（专利权）人： | 浙江光普太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/34;B08B5/02 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 胡根良 |
| 地址： | 313100 浙江省湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 板式 pecvd 下料位 快速 散热 除尘 装置 | ||
【权利要求书】：
1.板式PECVD下料位快速散热及除尘装置，其特征在于：在下料位的缓冲台（1）上安装有风扇（2）向镀膜后的硅片吹风来快速散热及去除硅片上表面氮化硅粉尘。
2.根据权利要求1所述的板式PECVD下料位快速散热及除尘装置，其特征在于：所述风扇设有两组，两组风扇设置的高度均为20CM。
3.根据权利要求2所述的板式PECVD下料位快速散热及除尘装置，其特征在于：所述每组风扇的数量及位置与下料位下料硅片一一对应设置。
4.根据权利要求3所述的板式PECVD下料位快速散热及除尘装置，其特征在于：所述两组风扇的吹风口与缓冲台平面呈30的角度面对面设置。
5.根据权利要求4所述的板式PECVD下料位快速散热及除尘装置，其特征在于：所述风扇由变频器控制，风扇电源为24V电源，下料位处安装热电偶和温控器，风扇电源连接保护断路器，保护断路器一路出线连接温控器到热电偶，保护断路器另一路出线连接变频器。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
