[实用新型]磁性流体真空轴封的轴芯结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种磁性流体真空轴封的轴芯结构，由将该轴芯主体轴径加大加长进而可加装一个以上轴承轴承（又称培林），让使用者可将此轴芯主体应用于溅镀设备上，以分散因溅镀设备运转时所产生的重负荷，而达到提升轴芯主体的使用寿命并降低因磁性流体真空轴封漏气所造成的整个机台内的溅镀损失及产能停产的损失的目的的磁性流体真空轴封的轴芯结构。

背景技术

溅度技术的原理主要是利用辉光放电（glowdis-charge）将氩气（Ar）离子撞击靶（tar-get）表面，靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜，其性质、均匀度都比以往蒸镀技术来的好。溅镀设备几乎都使用强力磁铁将电子成螺旋状运动以加速靶材周围的氩气离子化，造成靶与氩气离子间的撞击机率增加，提高溅镀速率，通过撞击将使靶材的物质飞出而沉积在基板上形成薄膜，因此，溅镀设备中的重要组件便是当中的承载机构-磁性流体真空轴封。

大多数磁性流体真空轴封因长时间操作都需要定期保养（如：更换轴承及磁液和清洗等），然而虽有定期的保养，轴承（又称培林）的寿命因负载过重仍然过短，一但轴承（又称培林）损坏就必须全部更换。

因此，如何提供一个可增加轴承（又称培林）寿命，来达到减少因磁性流体真空轴封漏气所造成的整个机台内的溅镀损失及产能停产的损失的目的，是发明人所要解决的课题。

实用新型内容

本实用新型发明人经过多年研究，终于研发出此可以利用加大及加宽轴芯主体的轴径来达到多加装轴承（又称培林）而达到增长使用寿命的目的的磁性流体真空轴封的轴芯结构。

本实用新型磁性流体真空轴封的轴芯结构，其为一个轴芯主体，其特征在于该轴芯主体轴径加大及加宽，进而可加装一个以上的轴承（又称培林）。

本实用新型的主要目的在于通过上述的结构，让用户可将此轴芯主体应用于溅镀设备上，以分散因溅镀设备运转时所产生的重负荷，而提升轴芯主体的使用寿命，以降低因磁性流体真空轴封漏气所造成的整个机台内的溅镀损失及产能停产的损失的目的。

附图说明

图1为本实用新型磁性流体真空轴封的轴芯结构的实施结构图。

附图标记说明

10上端

11下端

12中间部分

具体实施方式

如图1为本实用新型磁性流体真空轴封的轴芯结构的实施结构图。本实用新型磁性流体真空轴封的轴芯结构，其为一个轴芯主体，其特征在于该轴芯上端10及下端11的轴径加大及加宽，尺寸较一般大及较宽，上端10、下端11的轴径加宽可随实际需要加长；通过上述结构，用户可将此轴芯主体应用于溅镀设备上，以分散因溅镀设备运转时所产生的重负荷，而提升轴芯主体的使用寿命，以降低因磁性流体真空轴封漏气所造成的整个机台内的溅镀损失及产能停产的损失。

本实用新型磁性流体真空轴封的轴芯结构，其中，可增加一至多个轴承（又称培林），以包覆于轴芯主体之外。

本实用新型磁性流体真空轴封的轴芯结构，其中，该一至多个轴承（又称培林）的宽度及大小可不一样。

值得一提的是，本实用新型磁性流体真空轴封的轴芯结构，该轴芯下端11及上端10可加装一个以上的轴承（又称培林），以达到分担负载的效果。

诸如以上的本实用新型应用案例不胜枚举，以上所述仅是通过较佳实施例详细说明本实用新型，然而对于该实施例所作的任何修改与变化，例如中间轴芯的轴径加大加宽、轴芯主体的样式或是材质等等的变化都属于本实用新型的专利保护范围。