[实用新型]半导体清洗设备中的机械手

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体清洗设备中的机械手。

背景技术

目前，半导体清洗设备的化学槽中有很多有害气体，还有具有腐蚀的清洗液，如果用人工清洗的话，一方面可能会造成对操作人员身体的侵害，另一方面手动上下提篮振动一段时间后，其结果是手臂酸痛，操作人员产生疲劳，经常不能保证工艺时间，而且手工提篮振动幅度有大有小，无法精确控制，会导致产品清洗质量不过关，市场上也有投入使用的机械手，但是自动化程度不高，经常需要人工干预调整，材料不耐腐蚀，寿命短，运行不可靠，清洗效果不佳。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术的缺陷，提供一种自动化程度高，满足清洗工艺，保证清洗质量以及能够降低劳动强度的半导体清洗设备中的机械手。

实现本实用新型目的的技术方案是：一种半导体清洗设备中的机械手，它包括壳体、旋转轴、机械手固定板、安装在壳体上的摆动动力装置、使壳体做升降运动的升降动力装置和使壳体做上下振动的振动动力装置以及控制摆动动力装置、升降动力装置和振动动力装置的控制单元，旋转轴为表面包有一层PFA材料的热缩管，旋转轴可旋转地支承在壳体上，旋转轴的下端安装有挂架，壳体通过导轨副可滑动地连接在机械手固定板上，升降动力装置安装在机械手固定板上，摆动动力装置通过传动装置驱动旋转轴旋转。

进一步，所述的摆动动力装置为摆动气缸，所述的传动装置包括套装在摆动气缸输出轴上的第一同步轮和套装在旋转轴上的第二同步轮，第一同步轮和第二同步轮通过同步带连接。

进一步，所述的升降动力装置为升降气缸，升降气缸上具有第一活塞杆，第一活塞杆与振动动力装置固定连接。

进一步，所述的振动动力装置为振动气缸，振动气缸上具有第二活塞杆，第二活塞杆与所述的壳体固定连接。

更进一步，所述的导轨副包括导轨和在导轨上滑动配合的滑块，所述的导轨固定在机械手固定板上，所述的滑块固定连接在壳体上。

采用了上述技术方案后，将花篮挂在挂架上，机械手的初始位置在水槽上方，然后控制单元控制摆动动力装置使旋转轴旋转180°到化学槽的上方，且旋转轴表面包有一层PFA材料的热缩管，避免了化学气体对旋转轴的腐蚀，然后控制升降动力装置使挂架下降到化学槽内，然后控制振动动力装置，使得壳体做上下振动，即开始清洗工作，清洗完毕后，提升到初始位置，最后取出花篮，复位即可，本实用新型自动化程度高，且耐腐蚀，仅需要人工上下料，其它的让机械手代替工人做清洗工作，各个动力装置都可以通过控制单元进行控制，做到精确的控制工艺时间及保证振动幅度大小一致，故保证了产品的清洗质量，提高了生产效率，满足批量化生产，而且减轻了化学品对人体的伤害，降低了劳动强度。

附图说明

图1为本实用新型的半导体清洗设备中的机械手的结构立体图。

具体实施方式

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，

 如图1所示，一种半导体清洗设备中的机械手，它包括壳体1、旋转轴2、机械手固定板3、安装在壳体1上的摆动动力装置、使壳体1做升降运动的升降动力装置和使壳体1做上下振动的振动动力装置以及控制摆动动力装置、升降动力装置和振动动力装置的控制单元，旋转轴2为表面包有一层PFA材料的热缩管，旋转轴2可旋转地支承在壳体1上，旋转轴2的下端安装有挂架4，壳体1通过导轨副可滑动地连接在机械手固定板3上，升降动力装置安装在机械手固定板3上，摆动动力装置通过传动装置驱动包有PFA氟材料的旋转轴2旋转。摆动动力装置为摆动气缸5，传动装置包括套装在摆动气缸5输出轴上的第一同步轮6和套装在旋转轴2上的第二同步轮7，第一同步轮6和第二同步轮7通过同步带9连接。升降动力装置为升降气缸8，升降气缸8上具有第一活塞杆，第一活塞杆与振动动力装置固定连接。振动动力装置为振动气缸10，振动气缸10上具有第二活塞杆，第二活塞杆与所述的壳体1固定连接。导轨副包括导轨11 和在导轨11上滑动配合的滑块12，所述的导轨11固定在机械手固定板3上，所述的滑块12固定连接在壳体1上。

PFA指的是可溶性聚四氟乙烯

本实用新型的工作原理如下：