[实用新型]半导体清洗设备中的机械手

权利要求书

1.一种半导体清洗设备中的机械手，其特征在于：它包括壳体（1）、旋转轴（2）、机械手固定板（3）、安装在壳体（1）上的摆动动力装置、使壳体（1）做升降运动的升降动力装置和使壳体（1）做上下振动的振动动力装置以及控制摆动动力装置、升降动力装置和振动动力装置的控制单元，旋转轴（2）为表面包有一层PFA材料的热缩管，旋转轴（2）可旋转地支承在壳体（1）上，旋转轴（2）的下端安装有挂架（4），壳体（1）通过导轨副可滑动地连接在机械手固定板（3）上，升降动力装置安装在机械手固定板（3）上，摆动动力装置通过传动装置驱动旋转轴（2）旋转。

2.根据权利要求1所述的半导体清洗设备中的机械手，其特征在于：所述的摆动动力装置为摆动气缸（5），所述的传动装置包括套装在摆动气缸（5）输出轴上的第一同步轮（6）和套装在旋转轴（2）上的第二同步轮（7），第一同步轮（6）和第二同步轮（7）通过同步带（9）连接。

3.根据权利要求1所述的半导体清洗设备中的机械手，其特征在于：所述的升降动力装置为升降气缸（8），升降气缸（8）上具有第一活塞杆，第一活塞杆与振动动力装置固定连接。

4.根据权利要求1或3所述的半导体清洗设备中的机械手，其特征在于：所述的振动动力装置为振动气缸（10），振动气缸（10）上具有第二活塞杆，第二活塞杆与所述的壳体（1）固定连接。

5.根据权利要求1所述的半导体清洗设备中的机械手，其特征在于：所述的导轨副包括导轨（11）和在导轨（11）上滑动配合的滑块（12），所述的导轨（11）固定在机械手固定板（3）上，所述的滑块（12）固定连接在壳体（1）上。