[实用新型]一种配向微尘清洁装置有效
| 申请号： | 201220209764.8 | 申请日： | 2012-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN202803643U | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 钮万和 | 申请（专利权）人： | 昆山天卓贸易有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B15/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 龚拥军 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山市花桥*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微尘 清洁 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种配向微尘清洁装置，其特征在于，包括：
载物台，用于装载基板；
摩擦辊，设于所述载物台上方；
吸尘装置，设在所述摩擦辊侧方，通过产生的吸附力使所述摩擦辊在打磨过程中产生的微尘被从所述基板表面、配向布和环境中吸除；
吹尘装置，设在所述摩擦辊另一侧方，通过产生的吹力使所述摩擦辊在打磨过程中产生的微尘被从所述基板表面和配向布吹除。
2.根据权利要求1所述的配向微尘清洁装置，其特征在于，所述吸尘装置安装于摩擦辊与基板摩擦点的后方一侧。
3.根据权利要求1或2所述的配向微尘清洁装置，其特征在于，所述吸尘装置吸尘口平行于摩擦辊且长度不小于摩擦辊与基板接触面长度。
4.根据权利要求1或2所述的配向微尘清洁装置，其特征在于，所述吸尘装置吸尘口吸气方向需顺着配向布毛受离心力影响后的摆动方向。
5.根据权利要求1所述的配向微尘清洁装置，其特征在于，所述吹尘装置安装于摩擦辊与基板摩擦点的前方一侧。
6.根据权利要求1或5所述的配向微尘清洁装置，其特征在于，所述吹尘装置吹尘口平行于摩擦辊且长度不小于摩擦辊与基板接触面长度。
7.根据权利要求1或5所述的配向微尘清洁装置，其特征在于，所述吹尘装置吹尘口吹气方向需顺着配向布毛受离心力影响后的摆动方向。
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