[实用新型]方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪有效
| 申请号： | 201220200390.3 | 申请日： | 2012-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN202885758U | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 应永伟;王华龙 | 申请（专利权）人： | 上海申菲激光光学系统有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/28 | 分类号： | G01B5/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 20161*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 方形 掩膜版 玻璃 平面 检测 | ||
【权利要求书】：
1.一种方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪，其特征在于，包括一个三角形工作台面和一个圆盘，在所述工作台面上分别安置三个圆座，每个圆座上安置一个能够转动的小钢球，所述三个圆座分别设置于靠近所述三角形工作台面的三条边处，在所述三角形工作台面的边缘三角位置，均设有一小滚珠轴承固定座，所述圆盘与所述三个小滚珠轴承固定座滚动连接，所述圆盘中央设有一开口，所述开口的四个角上均设有安置方形玻璃基片的槽座，在所述工作台面的中心位置下方设有一台千分表。
2.根据权利要求1所述的方形掩膜版玻璃基片平面度检测仪，其特征在于，所述三个圆座与相对应的所述三个小滚珠轴承固定座均能够分级调整，所述级为2或3或4。
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