[实用新型]一种硅电力电子器件磨角机

权利要求书

1. 一种硅电力电子器件磨角机，其特征在于包括机架（1）、吸片头（2）和磨角头（3），所述的机架（1）上设有真空吸片装置（4）、吸片头旋转驱动装置（5）、磨角头旋转驱动装置（6）和研磨液喷射装置（7），吸片头（2）和吸片头旋转驱动装置（5）相连，吸片头（2）内设有气流通道（8），气流通道（8）的一端和所述的真空吸片装置（4）中的真空泵（9）连通，气流通道（8）的另一端开口于吸片头（2）的吸面，磨角头（3）和磨角头旋转驱动装置（6）相连，所述的磨角头（3）设有内凹的球面形磨角面（10），磨角头（3）的球面形磨角面（10）和吸片头（2）的吸面面对面安装，所述的研磨液喷射装置（7）的研磨液喷嘴（11）指向磨角头（3）的球面形磨角面（10）。

2.根据权利要求1所述的一种硅电力电子器件磨角机，其特征在于所述的吸片头旋转驱动装置（5）包括电机，该电机转轴和吸片头（2）相连。

3.根据权利要求2所述的一种硅电力电子器件磨角机，其特征在于所述的吸片头（2）外设有连接块（13），所述的连接块（13）内设有空腔（14）和通路（15），通路（15）的一端开口于连接块（13）的一个侧面并和所述的真空吸片装置（4）中的真空泵（9）连通，通路（15）的另一端和空腔（14）连通，所述的吸片头（2）内的气流通道（8）包括相连通的纵通道（81）和横通道（82），纵通道（81）和横通道（82）相连构成T字形，纵通道（81）的一端开口于吸片头（2）的吸面，横通道（82）的两端开口于吸片头（2）的侧面并位于所述的空腔（14）内，吸片头（2）内的气流通道（8）依次经空腔（14）、通路（15）和所述的真空泵（9）连通。

4.根据权利要求3所述的一种硅电力电子器件磨角机，其特征在于所述的连接块（13）内嵌装有上密封圈（16）和下密封圈（17），上密封圈（16）和下密封圈（17）分别位于空腔（14）的上方和下方，上密封圈（16）、下密封圈（17）均位于吸片头（2）和连接块（13）之间。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的一种硅电力电子器件磨角机，其特征在于所述的机架（1）上设有压力调节装置（18），压力调节装置（18）和所述的吸片头（2）相连。

6.根据权利要求1所述的一种硅电力电子器件磨角机，其特征在于所述的磨角头旋转驱动装置（6）包括电机及和该电机相连的磨角头转轴（19），磨角头转轴（19）和磨角头（3）相连。

7.根据权利要求1或6所述的一种硅电力电子器件磨角机，其特征在于所述的磨角头（3）的下方设有研磨液收集池（20），研磨液收集池（20）通过管路和给所述的研磨液喷射装置（7）提供研磨液的储液桶（21）相连。

8.根据权利要求1或2或6所述的一种硅电力电子器件磨角机，其特征在于所述的吸片头（2）和所述的磨角头（3）旋转方向相同且旋转速度相异。

9.根据权利要求8所述的一种硅电力电子器件磨角机，其特征在于所述的磨角头（3）的转速为260～360转/分，吸片头（2）的转速为100转/分。

10.根据权利要求1或2或6所述的一种硅电力电子器件磨角机，其特征在于所述的研磨液喷射装置（7）的研磨液喷嘴（11）位于所述的磨角头（3）的斜上方，研磨液喷嘴（11）和水平方向的夹角为30～60度。