[实用新型]太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种非晶硅太阳能电池沉积设备部件，特别涉及一种太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置。  

背景技术

随着非晶硅太阳能薄膜电池生产技术的日趋成熟，各种非晶硅的太阳能产品遍布全球。其中，等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）生产非晶硅太阳能薄膜电池的工艺已被广泛使用。等离子体增强化学气相沉积技术是借助于辉光放电等离子体使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。专利号为：ZL201120073512.2，名称为“一种新型大面积沉积非晶硅的反应盒”，就是等离子体增强化学气相沉积技术的一种设备，但采用这种设备来生产的非晶硅太阳能薄膜电池，由于沉积非晶硅时，反应气体的气流分布不均匀，导致沉积的非晶硅层膜厚不够均匀，在一定程度上影响了太阳能电池的转换效率。

发明内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种能够使沉积非晶硅时反应气体气流分布均匀的太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置。

本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置，包括:

一不锈钢上方通管，所述上方通管横截面呈上、中、下三层空间；

一不锈钢下方通管，所述下方通管横截面呈上、下两层空间；

一中心铝电极板，所述中心铝电极板的一端安装有一铜质电极杆；

两块铝质门板，所述铝质门板安装于装置两侧；

两块堵头板，所述堵头板分别安装于装置两端；

所述上方通管和下方通管的内端与装置内待加工的电池片放置区域之间均设有一金属板，所述金属板固定连接在铝质门板上，所述金属板的厚度与装置内电池片厚度一致。

作为本实用新型的进一步改进，所述金属板与待加工的电池片之间的间隙小于1毫米。

作为本实用新型的进一步改进，所述上方通管和下方通管的内端边缘分别与所述金属板的边缘贴合于一起。

作为本实用新型的进一步改进，所述不锈钢上方通管中间的隔层上钻制有若干气流孔。

作为本实用新型的进一步改进，所述不锈钢上方通管的一端设有进气口，所述进气口连接所述上方通管的上层空间。

作为本实用新型的进一步改进，所述不锈钢上方通管的底部设有不锈钢倒“U”形槽，不锈钢倒“U”形槽两侧各钻制有一排气流孔。

作为本实用新型的进一步改进，所述不锈钢下方通管中间的隔层上钻制有若干气流孔。

作为本实用新型的进一步改进，所述不锈钢下方通管的一端有出气口，所述出气口连接所述下方通管的下层空间。

作为本实用新型的进一步改进，所述不锈钢下方通管的顶部也设有不锈钢“U”形槽，所述不锈钢“U”形槽两侧各钻制有一排气流孔。

作为本实用新型的进一步改进，所述不锈钢下方通管底部安装有轮轴，所述轮轴上安装有载重轮；所述下方通管的两侧安装有合页。

作为本实用新型的进一步改进，所述中心铝电极板周围套有呈“U”形槽的聚四氟乙烯边条。

本实用新型在反应时，沉积非晶硅所需要的反应气体从装置上方通管的进气口流进上方通管的上层空间，然后经过上方通管的第一层隔板上的气流孔减压均压，流入中间层空间，再经过第二层隔板上的气流孔再次均压，流入下层空间，再通过上方通管底部的两排气流孔，分别均匀地流入装置的两个反应空间。气体经过三层空间的均压之后，能够明显提高上方通管底部两排气流孔处的气压均匀性，流入反应空间的气流可以达到很平缓的效果。需要特别强调的是，现有技术中的上、下方通管与待加工的电池片之间存在有较大间隙，使得气流在刚流进反应空间时，间隙使得一部分气流方向产生偏移，造成经过电池片表面的气流不均匀和不稳定，造成沉积完成后的非晶硅薄膜厚度不均匀，进而影响电池片的电性能。本实用新型中，在上、下方通管与装置内电池片放置区域之间添加的金属板，用来填充空间，保证了气流的稳定性和均匀性，避免了气流由于流通空间大小不同而造成的沉积不均匀现象。在高真空的恒温环境里，在射频的作用下，反应气体在两个反应空间里发生反应。未反应完的气体从下方通管的顶部两排气流孔流入下方通管的上层空间，再从下方通管的中间隔层上的气流孔流入下层空间，然后从下方通管的出气口被抽走。反应过程中，反应气体从装置的上方通管均匀地流入反应空间里，在反应空间里的气体密度均匀，沉积出来的非晶硅膜的厚度也就比较均匀，从而提高了非晶硅太阳能薄膜电池的各种电性能。

本实用新型的有益效果是：