[实用新型]太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置

权利要求书

1.一种太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置，包括:

一不锈钢上方通管(2)，所述上方通管(2)横截面呈上、中、下三层空间；

一不锈钢下方通管(3)，所述下方通管(3)横截面呈上、下两层空间；

一中心铝电极板(4)，所述中心铝电极板(4)的一端安装有一铜质电极杆(10)；

两块铝质门板(5)，所述铝质门板(5)安装于装置两侧；

两块堵头板(11)，所述堵头板(11)分别安装于装置两端；

其特征在于：所述上方通管(2)和所述下方通管(3)的内端与装置内待加工的电池片(17)放置区域之间均设有一金属板(12)，所述金属板（12）固定连接在所述铝质门板(5)上，所述金属板(12)的厚度与装置内电池片(17)厚度一致。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置，其特征在于：所述金属板与待加工的电池片之间的间隙小于1毫米。

3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置，其特征在于：所述上方通管(2)和所述下方通管(3)的内端边缘分别与所述金属板的边缘贴合于一起。