[实用新型]玻璃基板蚀刻槽

说明书

技术领域

本实用新型涉及玻璃基板减薄蚀刻技术领域，特别是涉及玻璃基板蚀刻槽。

背景技术

LCD(液晶显示器)是超薄的平面显示设备，它由一定数量的彩色或黑白像素组成，放置于光源或者反射面前方。液晶显示器功耗很低，适用于使用电池的电子设备。它的主要原理是以电流刺激液晶分子产生点、线、面配合背部灯管构成画面。为了“追求更佳的人类肉眼舒适性”，需要对制造液晶显示器的玻璃基板进行化学蚀刻减薄。化学蚀刻减薄通常会用到相应的蚀刻槽，在对玻璃基板的蚀刻减薄完成之后，需要对蚀刻槽进行清洗，以清除蚀刻槽内残留的蚀刻液和玻璃粉。

传统方案中，蚀刻槽底部为平面结构，且排液口位于侧面，导致蚀刻槽内经常留有残留的玻璃粉，难以排尽，蚀刻槽清洗难度较高，清洗的效率较低；传统的蚀刻槽无自动清洗装置，需要人工操作水枪对蚀刻槽进行冲洗，操作不便、清洗效率低且增加了人力成本。

实用新型内容

基于此，有必要针对蚀刻槽清洗难度较高的问题，提供一种清洗较便捷的玻璃基板蚀刻槽。

一种玻璃基板蚀刻槽，包括：槽体，所述槽体包括侧壁，以及与所述侧壁连接的底壁，所述底壁开设有排液口；冲洗装置，所述冲洗装置设置在所述槽体上，包括：进液清洗构件，用于对所述底壁进行清洗；出液清洗构件，用于对所述侧壁进行清洗。

在其中的一个实施例中，所述进液清洗构件包括：进液管，所述进液管平行设置在所述底壁内侧；所述进液管上开设有进液孔；控制件，设置在所述进液管上，用于控制所述进液管内清洗液的传输。

在其中的一个实施例中，所述进液孔的轴向方向与所述底壁形成的夹角小于或等于45度。

在其中的一个实施例中，所述进液孔的孔径为0.5～2毫米，

在其中的一个实施例中，相邻的所述进液孔之间的间距小于或等于80毫米。

在其中的一个实施例中，所述出液清洗构件包括：集液管，与所述排液口连接，设置在所述底壁外侧；抽液泵，与所述集液管连接，用于抽取所述槽体内的清洗液；过滤器，与所述抽液泵连接，用于过滤所述清洗液中的杂质；出液管，与所述过滤器连接，用于把过滤后的清洗液清洗所述侧壁。

在其中的一个实施例中，所述出液管上开设有出液孔，所述出液孔的开孔方向与所述侧壁相对设置。

在其中的一个实施例中，所述底壁为倒椎体状。

在其中的一个实施例中，所述排液口设置在所述底壁中心。

在其中的一个实施例中，所述侧壁顶端处开设有溢流口。

在玻璃基板蚀刻槽的槽体上设置冲洗装置，具体地，是通过进液清洗构件对所述槽体的底壁进行清洗，以及出液清洗构件对所述槽体的侧壁进行清洗，实现自动的对槽体进行清洗，达到清洗较便捷的目的。

附图说明

图1为玻璃基板蚀刻槽示意图；

图2为一实施方式的进液清洗构件示意图；

图3为另一实施方式的进液清洗构件示意图；

图4为一实施方式的出液清洗构件示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对玻璃基板蚀刻槽进行阐明。

请参阅图1，为玻璃基板蚀刻槽示意图，玻璃基板蚀刻槽，包括：

槽体10，槽体10为长方体，槽体10的顶部敞开，槽体10的底部开设有排液口130。具体地，槽体10包括侧壁110，以及与侧壁110连接的底壁120。侧壁110依次连接，围拢形成长方体。槽体10的顶部敞开，用于把玻璃基板(例如TFT-LCD玻璃基板)放置进槽体10进行减薄工序。槽体10的底部由底壁120围拢形成，并在底壁120处开设了排液口130，把减薄工艺中所用的蚀刻液排出。在其它实施例中，槽体10的底壁120为倒锥体状，排液口130设置在底壁120中心，即倒椎体状的顶端位置。

冲洗装置，冲洗装置设置在槽体10上，包括：

进液清洗构件20，用于对槽体10的底壁120进行清洗。

出液清洗构件30，用于对槽体10的侧壁110进行清洗。

结合附图2～3，进液清洗构件20包括：