[实用新型]玻璃基板蚀刻槽

权利要求书

1.一种玻璃基板蚀刻槽，其特征在于，包括：

槽体，所述槽体包括侧壁，以及与所述侧壁连接的底壁，所述底壁开设有排液口；

冲洗装置，所述冲洗装置设置在所述槽体上，包括：

进液清洗构件，用于对所述底壁进行清洗；

出液清洗构件，用于对所述侧壁进行清洗。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于，所述进液清洗构件包括：

进液管，所述进液管平行设置在所述底壁内侧；所述进液管上开设有进液孔；

控制件，设置在所述进液管上，用于控制所述进液管内清洗液的传输。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于，所述进液孔的轴向方向与所述底壁形成的夹角小于或等于45度。

4.根据权利要求3所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于，所述进液孔的孔径为0.5～2毫米，

5.根据权利要求4所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于，相邻的所述进液孔之间的间距小于或等于80毫米。

6.根据权利要求1～5任意一项所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于，所述出液清洗构件包括：

集液管，与所述排液口连接，设置在所述底壁外侧；

抽液泵，与所述集液管连接，用于抽取所述槽体内的清洗液；

过滤器，与所述抽液泵连接，用于过滤所述清洗液中的杂质；

出液管，与所述过滤器连接，用于把过滤后的清洗液清洗所述侧壁。

7.根据权利要求6所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于，所述出液管上开设有出液孔，所述出液孔的开孔方向与所述侧壁相对设置。

8.根据权利要求1所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于，所述底壁为倒椎体状。

9.根据权利要求8所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于，所述排液口设置在所述底壁中心。

10.根据权利要求1所述的玻璃基板蚀刻槽，其特征在于，所述侧壁顶端处开设有溢流口。