[实用新型]玻璃基板减薄蚀刻槽

说明书

技术领域

本实用新型涉及玻璃基板减薄蚀刻技术领域，特别是涉及玻璃基板减薄蚀刻槽。

背景技术

随着科学技术的发展，电子通信产品也得到飞速的发展。电子产品的功能越来越强大，内容越来越丰富，外观越来越精美。科技时尚化，人们对电子产品拥有时尚外观，尤其是对电子产品的厚度要求更加薄。例如，带有液晶显示屏的电子产品手机、掌上电脑、笔记本电脑等，液晶显示屏幕都是大而重要的元器件，若要整体的降低厚度，方法之一就是把液晶显示屏幕的厚度进一步的减薄。

液晶显示屏幕的减薄需要经过多个程序，其中蚀刻是最为重要的程序之一。蚀刻槽是执行该蚀刻过程的重要组件，在蚀刻的过程中，为了保持最佳的蚀刻反应速率，保证蚀刻液的温度是十分重要，而传统的玻璃基板减薄蚀刻槽没有设计温控的功能。

实用新型内容

基于此，有必要针对传统的玻璃基板减薄蚀刻槽没有对蚀刻液进行调温的问题，提供一种设置有温控功能的玻璃基板减薄蚀刻槽。

一种玻璃基板减薄蚀刻槽，包括：槽体；温控装置，包括：温度传感器，用于获得所述槽体内蚀刻液的温度值；调温组件，用于对所述槽体内的蚀刻液进行升温或制冷；以及控制器，分别与所述温度传感器和所述调温组件连接，根据所述温度值控制所述调温组件对所述槽体内的蚀刻液进行升温或制冷。

在其中一实施例中，所述温度传感器包括：第一温度传感单元，所述第一温度传感单元获取所述槽体内蚀刻液的第一温度值；所述调温组件包括：冷却管，所述冷却管用于对所述槽体内的蚀刻液进行制冷；以及所述控制器包括：冷却控制器，分别与所述第一温度传感单元和所述冷却管连接，根据所述第一温度值控制所述冷却管对所述槽体内的蚀刻液进行制冷。

在其中一实施例中，所述温度传感器还包括：第二温度传感单元，所述第二温度传感单元获取所述槽体内蚀刻液的第二温度值；所述调温组件还包括：加热管，所述加热管用于对所述槽体内的蚀刻液进行升温；以及所述控制器还包括：加热控制器，分别与所述第二温度传感单元和所述加热管连接，根据所述第二温度值控制所述加热管对所述槽体内的蚀刻液进行升温。

在其中一实施例中，还包括：设置在所述槽体底部的鼓泡装置，所述鼓泡装置包括：鼓泡管，设置在所述槽体底部内侧，所述鼓泡管开设有鼓泡孔；气体控制件，与所述鼓泡管连接，控制所述鼓泡管内气体的传输。

在其中一实施例中，所述鼓泡装置还包括：与所述鼓泡管连接的清洗液控制件，控制所述鼓泡管内清洗液的传输。

在其中一实施例中，所述鼓泡孔的轴向方向与所述槽体的底壁形成的夹角小于等于45°，所述鼓泡孔的孔径为0.5～2毫米。

在其中一实施例中，所述槽体底部开设有排液口，所述玻璃基板减薄蚀刻槽还包括循环过滤装置，所述循环过滤装置包括：循环进液管，设置在所述槽体底部外侧，且与所述排液口连接；循环进液泵，与所述循环进液管连接，用于抽取所述槽体内的蚀刻液；过滤器，与所述循环进液泵连接，用于过滤所述蚀刻液中的杂质；循环出液管，与所述过滤器连接，用于排出所述过滤后的蚀刻液。

在其中一实施例中，所述循环出液管开设有出液孔，所述出液孔与所述槽体的侧壁相对设置。

在其中一实施例中，所述槽体底部为倒锥体状，所述排液口设置在所述槽体底部的中心。

在其中一实施例中，所述槽体的侧壁开设有溢流口，所述溢流口靠近所述槽体的顶端设置。

通过温度传感器获取槽体内蚀刻液的温度值，控制器根据温度值控制调温组件对槽体内蚀刻液的温度进行升温或制冷，达到温度控制的目的。

附图说明

图1为玻璃基板减薄蚀刻槽示意图；

图2为温控装置的逻辑示意图；

图3为一实施方式温控装置的示意图；

图4为另一实施方式温控装置的示意图；

图5为一实施方式鼓泡装置的示意图；

图6为另一实施方式鼓泡装置的示意图；

图7为一实施方式循环过滤装置的示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对玻璃基板减薄蚀刻槽进行阐明。

参阅附图1，为玻璃基板减薄蚀刻槽示意图，玻璃基板减薄蚀刻槽，包括：