[实用新型]玻璃基板减薄蚀刻槽

权利要求书

1.一种玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于，包括：

槽体；

温控装置，包括：

温度传感器，用于获得所述槽体内蚀刻液的温度值；

调温组件，用于对所述槽体内的蚀刻液进行升温或制冷；以及

控制器，分别与所述温度传感器和所述调温组件连接，根据所述温度值控制所述调温组件对所述槽体内的蚀刻液进行升温或制冷。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于，

所述温度传感器包括：第一温度传感单元，所述第一温度传感单元获取所述槽体内蚀刻液的第一温度值；

所述调温组件包括：冷却管，所述冷却管用于对所述槽体内的蚀刻液进行制冷；以及

所述控制器包括：冷却控制器，分别与所述第一温度传感单元和所述冷却管连接，根据所述第一温度值控制所述冷却管对所述槽体内的蚀刻液进行制冷。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于，

所述温度传感器还包括：第二温度传感单元，所述第二温度传感单元获取所述槽体内蚀刻液的第二温度值；

所述调温组件还包括：加热管，所述加热管用于对所述槽体内的蚀刻液进行升温；以及

所述控制器还包括：加热控制器，分别与所述第二温度传感单元和所述加热管连接，根据所述第二温度值控制所述加热管对所述槽体内的蚀刻液进行升温。

4.根据权利要求1所述的玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于，还包括：设置在所述槽体底部的鼓泡装置，所述鼓泡装置包括：

鼓泡管，设置在所述槽体底部内侧，所述鼓泡管开设有鼓泡孔；

气体控制件，与所述鼓泡管连接，控制所述鼓泡管内气体的传输。

5.根据权利要求4所述的玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于，所述鼓泡装置还包括：与所述鼓泡管连接的清洗液控制件，控制所述鼓泡管内清洗液的传输。

6.根据权利要求5所述的玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于，所述鼓泡孔的轴向方向与所述槽体的底壁形成的夹角小于等于45°，所述鼓泡孔的孔径为0.5～2毫米。

7.根据权利要求1所述的玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于，所述槽体底部开设有排液口，所述玻璃基板减薄蚀刻槽还包括循环过滤装置，所述循环过滤装置包括：

循环进液管，设置在所述槽体底部外侧，且与所述排液口连接；

循环进液泵，与所述循环进液管连接，用于抽取所述槽体内的蚀刻液；

过滤器，与所述循环进液泵连接，用于过滤所述蚀刻液中的杂质；

循环出液管，与所述过滤器连接，用于排出所述过滤后的蚀刻液。

8.根据权利要求7所述的玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于，所述循环出液管开设有出液孔，所述出液孔与所述槽体的侧壁相对设置。

9.根据权利要求8所述的玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于，所述槽体底部为倒锥体状，所述排液口设置在所述槽体底部的中心。

10.根据权利要求1所述的玻璃基板减薄蚀刻槽，其特征在于，所述槽体的侧壁开设有溢流口，所述溢流口靠近所述槽体的顶端设置。