[实用新型]一种自动调节金刚石线切割硅片速度的智能装置有效
申请号: | 201220138344.5 | 申请日: | 2012-04-05 |
公开(公告)号: | CN202507408U | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 李毕武;于景;俞建业;廖芳 | 申请(专利权)人: | 江西金葵能源科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 萍乡益源专利事务所 36119 | 代理人: | 张放强 |
地址: | 337000 江西省萍*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 自动 调节 金刚石 切割 硅片 速度 智能 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种检测调节装置,尤其是涉及一种自动调节金刚石线切割硅片工作台速度的智能装置。
背景技术
在太阳能级硅片切割中,新型的金刚石线切割技术正在取代传统的砂浆切割技术,新型的金刚石线切割技术切割效率高,切割过程不使用高耗能产品SiC,只使用无污染的水性切削液。同时硅片精度控制好、硅片损伤层小以及切割成本低等诸多优势,目前国内外太阳能切片企业都在积极开发该切割技术。新型的金刚石切割技术是通过普通钢线上电镀一层金刚石颗粒,通过金刚石颗粒的高效切削能力来达到切割硅片,这种切割方式切削效率是传统砂浆切割能力的2-3 倍,同时由于金刚石线切割硅片是金刚石线直接参与切割,如果切割过程中线弓偏大,钢线很容易由于张力过大而导致断线,和普通切割钢线相比金刚石线本身价格昂贵,切割断线造成成本升高,严重的直接造成切割硅棒报废。
实用新型内容
针对上述现有技术中存在的问题,本实用新型提供了可根据线弓大小自动调节台速,有效降低切割断线的比率,提高切割效率,降低生产成本的智能装置。
本实用新型要解的技术问题所采取的技术方案是:所述自动调节金刚石线切割硅片速度的智能装置包括间隔设置在线网上的线弓监测点,所述线弓监测点与线弓检测器相连,线弓检测验器与台速控制器相连。
本实用新型的工作原理是:硅片切割时,线网上各个线弓监测点通过感应系统把线弓大小数值传输到线弓检测器,线弓检测器把信号传输到台速控制器,当任何一点的线弓数值大于5.5mm 时,台速控制器通过传感器自动降低工作台速度,直到线弓小于5.5um为止。
本实用新型在硅片切割过程中利用线弓监测点对金刚石线线弓的大小实时监控,将监测的线弓大小信号输到线弓检测器,再输入以台速控制器,当线弓增大时,台速控制器会自动降低工作台速度,工作台速度减小,线弓下降,这样可有效地降低金刚石线在切割过程中断线的比率,从而提高硅片合格率和降低光伏发电成本。
附图说明
图1是本实用新型的连接示意图。
在图中,1、线网 2、线弓监测点 3、线弓检测器 4、台速检测器。
具体实施方式
在图1中,所述自动调节金刚石线切割硅片速度的智能装置包括间隔设置在线网1(线网即金刚石线网)上的线弓监测点2,线弓监测点设置三点,当然也可以是一点、两点或其它多点,线弓监测点与线弓检测器3相连,线弓检测验器与台速控制器4相连(台速控制器即控制工作台进给速度的控制器)。将处理好的晶体硅棒装入切片机,固定好晶棒位置,热机循环;热机结束后,进行硅片切割,其中工作台速度(即工件进给速度)控制在0.4~1.2 mm/min,金刚石切割线线速度控制在500-1200m/s,采用双向切割工艺;开启线弓检测器,监控切割过程线弓大小;开启匹配线弓大小自动调节硅片切割速度的智能装置, 该装置控制条件如下: 当线弓大小超过5.5um后,工作台切割速度自动降低,直到线弓大小降低到小于5.5um 以下,而切割好的硅片再进行脱胶、清洗、分选和包装。
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