[实用新型]具有超声波除尘功能的光学镀膜装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学镀膜领域，尤其涉及具有超声波除尘功能的光学镀膜装置。

背景技术

光学镀膜在光学仪器上应用非常广泛，它是在光学零件表面上镀上一层或多层光学薄膜的工艺过程，通过该工艺过程可以改变照射在光学零件上的光波的传输特性。

光学薄膜的制作通常采用物理蒸镀法，就是将薄膜材料由固态转化为气态或离子态，气态或离子态的薄膜材料从蒸发源到达待镀件，在待镀件上沉积而形成薄膜。并且，为了制作高纯度的光学薄膜，通常采用真空镀膜。所以，一般地，光学镀膜的过程是：清洗待镀件，将待镀件放置在支撑待镀件的物体上，送入镀膜装置，然后将镀膜装置抽成真空，在真空环境下对待镀件进行镀膜。上述的技术方案存在的缺点是，清洗待镀件的环境不是真空环境，清洗后的待镀件被送入镀膜装置之前会与外界环境接触，这样有可能使得待镀件再度染上灰尘。

公开于该实用新型背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本实用新型的一般背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

针对上述缺陷，本实用新型提供一种具有超声波除尘功能的光学镀膜装置。

本实用新型的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置包括：真空间、用于承载待镀件的转盘、与所述待镀件相对设置的蒸发源、支撑杆、通过所述支撑杆位于所述转盘和所述蒸发源之间的遮板组、超声波发生器和超声波换能器；

其中，所述转盘、所述蒸发源、所述支撑杆和所述遮板组均位于所述真空间内，所述超声波发生器和所述超声波换能器电连接，所述超声波换能器和所述转盘机械连接。

如上所述的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，其中，所述遮板组包括多个具有不同形状的遮板，所述支撑杆伸出所述真空间。

如上所述的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，其中，还包括用于带动所述支撑杆旋转以在所述遮板组中选择具有特定形状的遮板的第一电机。

如上所述的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，其中，还包括用于带动所述转盘旋转的第二电机，所述第二电机位于所述真空间外，并与所述转盘机械连接。

如上所述的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，其中，所述转盘位于所述真空间的上部，所述待镀件位于所述转盘的底面。

如上所述的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，其中，所述超声波发生器和所述超声波换能器都在真空间外。

使用本实用新型的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，可以除去待镀件清洗之后送入镀膜装置之前染上的灰尘，保证镀膜的质量。

通过纳入本文的附图以及随后与附图一起用于说明本实用新型的某些原理的具体实施方式，本实用新型的装置所具有的其它特征和优点将变得清楚或更为具体地得以阐明。

附图说明

图1为本实用新型具有超声波除尘功能的光学镀膜装置的一实施例的结构图；

图2为本实用新型具有超声波除尘功能的光学镀膜装置的另一实施例中遮板组的放大图；

图3为本实用新型具有超声波除尘功能的光学镀膜装置的另一实施例的结构图；

图4为本实用新型具有超声波除尘功能的光学镀膜装置的另一实施例的结构图。

应当了解，所附附图并非按比例地显示了本实用新型的基本原理的图示性的各种特征的略微简化的画法。本文所公开的本实用新型的具体设计特征包括例如具体尺寸、方向、位置和外形将部分地由具体所要应用和使用的环境来确定。

在这些图形中，贯穿附图的多幅图形，附图标记引用本实用新型的同样的或等同的部分。

具体实施方式

背景技术中提到现有技术中光学镀膜的技术方案存在缺陷：待镀件送入镀膜装置之前，会被轻度再污染，影响镀膜的质量。因此，本实用新型设计了具有超声波除尘功能的光学镀膜装置以克服现有技术中的缺陷。

图1为本实用新型具有超声波除尘功能的光学镀膜装置的一实施例的结构图，如图1所示，该装置包括：真空间1、用于承载待镀件3的转盘2、与待镀件3相对设置的蒸发源4、支撑杆5、通过支撑杆5位于转盘2和蒸发源4之间的遮板11遮板11组6、超声波发生器7和超声波换能器8。

其中，转盘2、蒸发源4、支撑杆5和遮板11遮板11组6均位于真空间1内，超声波发生器7和超声波换能器8电连接，超声波换能器8和转盘2机械连接。