[实用新型]具有超声波除尘功能的光学镀膜装置有效
| 申请号： | 201220129220.0 | 申请日： | 2012-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN202626277U | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 詹君;孙鸣洋;刘艾河 | 申请（专利权）人： | 湖北山鹰光学有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 434200 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 超声波 除尘 功能 光学 镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，其特征在于，包括：真空间、用于承载待镀件的转盘、与所述待镀件相对设置的蒸发源、支撑杆、通过所述支撑杆位于所述转盘和所述蒸发源之间的遮板组、超声波发生器和超声波换能器；
其中，所述转盘、所述蒸发源、所述支撑杆和所述遮板组均位于所述真空间内，所述超声波发生器和所述超声波换能器电连接，所述超声波换能器和所述转盘机械连接。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述遮板组包括多个具有不同形状的遮板，所述支撑杆伸出所述真空间。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述遮板组为四遮板结构。
4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括用于带动所述支撑杆旋转以在所述遮板组中选择具有特定形状的遮板的第一电机。
5.根据权利要求1-4任一所述的装置，其特征在于，还包括用于带动所述转盘旋转的第二电机，所述第二电机位于所述真空间外，并与所述转盘机械连接。
6.根据权利要求1-4任一所述的装置，其特征在于，所述转盘位于所述真空间的上部，所述待镀件位于所述转盘的底面。
7.根据权利要求1-4任一所述的装置，其特征在于，所述超声波发生器和所述超声波换能器都在真空间外。
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