[实用新型]一种用于电感耦合等离子处理装置的连接卡口

权利要求书

1.一种用于电感耦合等离子处理装置的绝缘顶板和顶盖的连接卡口，其中，所述电感耦合等离子处理装置具有一腔体，其提供了制程空间，所述腔体包括侧壁以及一顶盖，所述顶盖具有一中央开口，在所述顶盖上方设置了一绝缘顶板，其覆盖所述中央开口，所述顶盖具有一凹洞，其中，所述连接卡口包括：

一主体，

所述主体包括：

一柱状部件，其侧壁具有一与所述绝缘顶板的外围弧度相贴合的第一表面，所述柱状部件下表面接触于所述顶盖的上表面，其中，所述柱状部件具有至少一个第一通孔；

在所述柱状部件的上下端分别具有一第一突起和第二突起，所述第一突起的下表面接触于所述绝缘顶板的外围的上表面，所述第二突起的上表面接触于所述绝缘顶板的外围的下表面，

固定钉，其能够通过所述柱状部件的所述第一通孔和所述顶盖的所述凹洞。

2.根据权利要求1所述的连接卡口，其特征在于，所述固定钉为螺钉，所述螺钉具有第二螺纹，所述，螺钉能够通过所述柱状部件的所述第一通孔和所述顶盖的所述凹洞，其中，所述凹洞内壁具有第一螺纹，所述第一螺纹与所述第二螺纹相配合。

3.根据权利要求2所述的连接卡口，其特征在于，所述柱状部件还具有至少一个第二通孔，其中，所述连接卡口还包括至少一个退工钉，所述退工钉与所述第二通孔相配合，所述退工钉具有第三螺纹，所述第二通孔内壁具有第四螺纹，所述第三螺纹和所述第四螺纹相配合。

4.根据权利要求3所述的连接卡口，其特征在于，所述主体的材料包括不锈钢、铝、铝合金。

5.根据权利要求3所述的连接卡口，其特征在于，所述第一通孔的直径的取值范围为5mm～9mm，所述第二通孔的直径的取值范围为3mm～9mm。

6.根据权利要求3所述的连接卡口，其特征在于，所述第一突起的下表面面积的取值范围为100mm²～200mm²，所述第二突起的上表面面积的取值范围为150mm²～250mm²。

7.根据权利要求3所述的连接卡口，其特征在于，所述柱状部件的高度与所述所述绝缘顶板的厚度相配合。

8.一种电感耦合等离子处理装置，其中，所述等离子处理装置包括若干个如权利要求1至7任一项所述的连接卡口。