[实用新型]双功能掩模台底部装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种掩模台装置，特别是涉及一种双功能掩模台底部装置。 

背景技术

在扫描式曝光的光刻机中，原有技术以两套相互独立的掩模台支架系统，作为掩模台的底部结构，其一为掩模台横梁，承担掩模台工作时静态结构支撑，起到了从基础框架到掩模面的高度跨越。其二为掩模台维护机构，起到了掩模台维修维护时，动态抬升和移入移出的功能，可参考中国专利201010575782.3。 

然而，由于光刻机设备内部系统繁多，整机集成密度高，采用上述功能性分解的设计模块无疑占用了更多的内部体积。同时此种设计结构繁琐，限制了提高结构模态的可能性，不利于整机框架及掩模台机械振动控制，也不利于系统曝光精度的提高。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种双功能掩模台底部装置，以解决现有的掩模台底部装置占用体积大、结构繁琐不利于掩模台机械振动控制的问题。 

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种双功能掩模台底部装置，包括：水平横梁，其承载一掩模台；支撑立柱，位于所述水平横梁的两侧，所述水平 横梁通过紧固件锁紧固定在所述支撑立柱上；垂向导杆，沿竖直方向设置在所述支撑立柱上；滑动导轨，平行于水平横梁设置且活动连接至垂向导杆，于初始状态下位于水平横梁下方且与水平横梁之间具有一间隔；升降驱动机构，驱动滑动导轨沿垂向导杆上升或下降，当滑动导轨上升至与水平横梁相接触时，通过松开紧固件使滑动导轨承载着水平横梁继续上升或下降；水平驱动机构，当滑动导轨承载有水平横梁时，水平驱动机构驱动水平横梁沿滑动导轨移动。 

作为优选，所述水平横梁为两根，相互平行设置；所述支撑立柱为四根，每两根支撑立柱对应一根水平横梁安装在水平横梁的两侧。 

作为优选，所述水平驱动机构包括移动驱动手柄、滚珠丝杆，所述滚珠丝杆设置于所述移动驱动手柄和所述水平横梁之间，所述移动驱动手柄的转动驱动所述滚珠丝杆使得水平横梁沿滑动导轨移动。 

作为优选，所述升降驱动机构包括升降驱动手柄、齿轮箱和传动轴，所述传动轴设置在相邻的两根支撑立柱之间，所述齿轮箱分别安装在所述支撑立柱上并啮合连接所述传动轴，所述升降驱动手柄设置在任一齿轮箱上，所述升降驱动手柄的转动驱动所述齿轮箱带动传动轴使滑动导轨沿垂向导杆同步上升或下降。 

作为优选，所述传动轴为三根，分别设置在任意三根相邻的支撑立柱之间。 

作为优选，所述升降驱动机构还包括气动弹簧，所述气动弹簧的一端与一支撑立柱连接，另一端与所述滑动导轨连接，以推动所述滑动导轨沿着所述垂向导杆上升或下降。 

作为优选，所述气动弹簧为氮气弹簧。 

作为优选，所述紧固件为定位销和螺栓。 

作为优选，所述水平横梁的材料为C型钢。 

作为优选，所述掩模台底部装置还包括连接相邻两根支撑立柱的结构连接杆。 

作为优选，所述掩模台底部装置还包括横跨连接两根平行的所述水平横梁的连接加强板。 

由于采用了以上技术方案，与现有技术相比，本实用新型具有以下优点： 

本实用新型的双功能掩模台底部装置将水平横梁和掩模台维护机构(由水平驱动机构、升降驱动机构等组成)合为一体，简化了整机结构明显缩小了掩模台框架所占有的体积，并且，通过在相邻两根支撑立柱之间增设结构连接杆构成四边形结构来提高掩模台底部装置的结构模态，降低因振动对光刻机掩模台的精度干扰，从而降低掩模台受的机械振动影响的风险。 

附图说明

图1为本实用新型的双功能掩模台底部装置的正视图； 

图2为本实用新型的双功能掩模台底部装置的侧视图； 

图3为本实用新型的双功能掩模台底部装置在抬升状态时的正视图； 

图4为本实用新型的双功能掩模台底部装置在抬升状态时的侧视图； 

图5为本实用新型的双功能掩模台底部装置在移出状态时的正视图； 

图6为本实用新型的双功能掩模台底部装置在移出状态时的侧视图； 

图7为本实用新型的双功能掩模台底部装置将掩模台抬升和移入的工作流程图。 

图8为本实用新型的双功能掩模台底部装置将掩模台移入和下降的工作流程图。 

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。