[实用新型]双功能掩模台底部装置

权利要求书

1.一种双功能掩模台底部装置，其特征在于，包括：

水平横梁，其承载一掩模台；

支撑立柱，位于所述水平横梁的两侧，所述水平横梁通过紧固件锁紧固定在所述支撑立柱上；

垂向导杆，沿竖直方向设置在所述支撑立柱上；

滑动导轨，平行于水平横梁设置且活动连接至垂向导杆，于初始状态下位于水平横梁下方且与水平横梁之间具有间隔；

升降驱动机构，驱动滑动导轨沿垂向导杆上升或下降，当滑动导轨上升至与水平横梁相接触时，通过松开紧固件使滑动导轨承载着水平横梁继续上升或下降；

水平驱动机构，当滑动导轨承载有水平横梁时，水平驱动机构驱动水平横梁沿滑动导轨移动。

2.如权利要求1所述的掩模台底部装置，其特征在于，所述水平横梁为两根，相互平行设置；所述支撑立柱为四根，每两根支撑立柱对应一根水平横梁安装在水平横梁的两侧。

3.如权利要求1或2所述的掩模台底部装置，其特征在于，所述水平驱动机构包括移动驱动手柄、滚珠丝杆，所述滚珠丝杆设置于所述移动驱动手柄和所述水平横梁之间，所述移动驱动手柄的转动驱动所述滚珠丝杆使得水平横梁沿滑动导轨移动。 

4.如权利要求2所述的掩模台底部装置，其特征在于，所述升降驱动机构包括升降驱动手柄、齿轮箱和传动轴，所述传动轴设置在相邻的两根支撑立柱之间，所述齿轮箱分别安装在所述支撑立柱上并啮合连接所述传动轴，所述升降驱动手柄设置在任一齿轮箱上，所述升降驱动手柄的转动驱动所述齿轮箱带动传动轴使滑动导轨沿垂向导杆同步上升或下降。

5.如权利要求4所述的掩模台底部装置，其特征在于，所述传动轴为三根，分别设置在任意三根相邻的支撑立柱之间。

6.如权利要求4所述的掩模台底部装置，其特征在于，所述升降驱动机构还包括气动弹簧，所述气动弹簧的一端与一支撑立柱连接，另一端与所述滑动导轨连接，以推动所述滑动导轨沿着所述垂向导杆上升或下降。

7.如权利要求6所述的掩模台底部装置，其特征在于，所述气动弹簧为氮气弹簧。

8.如权利要求1或2所述的掩模台底部装置，其特征在于，所述紧固件为定位销和螺栓。

9.如权利要求1或2所述的掩模台底部装置，其特征在于，所述水平横梁的材料为C型钢。

10.如权利要求2所述的掩模台底部装置，其特征在于，所述掩模台底部装置还包括连接相邻两根支撑立柱的结构连接杆。

11.如权利要求2所述的掩模台底部装置，其特征在于，所述掩模台底部装置还包括横跨连接两根平行的所述水平横梁的连接加强板。