[实用新型]一种三料柱气相沉积炉有效
申请号: | 201220075584.5 | 申请日: | 2012-03-02 |
公开(公告)号: | CN202323015U | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 隋英华;叶会礼;刘广达;王树山;赵启民 | 申请(专利权)人: | 烟台鲁航炭材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;C23C16/26 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 杨立 |
地址: | 264006 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 三料柱气相 沉积 | ||
技术领域
本实用新型涉及高温炉技术领域,尤其涉及一种三料柱气相沉积炉。
背景技术
化学气相沉积(CVI)是制造炭/炭复合材料的传统工艺方法,它是将烃类气体通入加热炉内,在1000℃左右条件下,热解炭在炭纤维表面不断生长,最终使纤维编织体致密化形成炭纤维增强热解炭基体复合材料。目前,制备炭/炭复合材料的常用设备为真空气相沉积炉,这种炉型通常使用炭毡做成筒型用于保温隔热,但由于炭毡是软质材料,不易制成要求的形状,而且有污染,易瘫软,这就带来了许多问题,如果一旦产生瘫软倒塌现象,便可能使软炭毡与发热体、三料柱之间的保温材料相互碰撞,以至发生短路甚至破坏加热电源,严重的可能造成灾难性的后果。另外这种保温炭毡的使用寿命较短,连续使用3个月后,容易沉炭变硬,使保温效果降低,能耗增大,而且更换成本较高;并且还容易发生高温脆化、掉沫而导致污染料柱及环境。
实用新型内容
本实用新型针对现有技术的不足,提供一种保温效果好、使用寿命长、操作简便的一种三料柱气相沉积炉,以降低能耗、节约成本、提高产品质量。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:一种三料柱气相沉积炉,包括圆筒形炉体,在所述炉体中,分别设有三个工作室,其特点在于,所述每个工作室包括从里到外依次设置的圆筒形沉积室、发热体及保温筒,所述保温筒是泡沫炭材质。
所述三个工作室呈等边三角形设置。即所述三个工作室中心位置的连线构成一个等边三角形。
所述工作室的沉积室与发热体及发热体与保温筒之间分别留有10—30毫米的间隙。
所述保温筒的壁厚是50—90毫米。
本实用新型的有益效果是:由于在发热体外侧采用了泡沫炭保温层,与现有技术相比,提高了气相沉积炉的保温效果,降低了能耗和成本,并且避免了对料柱的污染。其原因在于,泡沫炭是一种硬质多孔的炭材料,其密度低、多孔、质轻而硬,可以用于高达1000-2800℃的高温炉保温,并且由于泡沫炭是由炭基质组成的,在1000-3000℃高温下使用无污染,易于安装,保温性能好,无挥发成份。因此使得本实用新型具有很好的保温性能和长久的使用寿命,并且该保温材料还便于加工和安装。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
在图1中,1、工作室;2、料柱;3、沉积室;4、发热体;5、保温筒;6、炉体。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本实用新型,并非用于限定本实用新型的范围。
如图1所示,一种三料柱气相沉积炉,包括圆筒形炉体6,在所述炉体6中,分别设有三个工作室1,所述每个工作室1包括从里到外依次设置的圆筒形沉积室3、发热体4及保温筒5,所述保温筒5是泡沫炭材质。
本实用新型工作时,料柱2置于沉积室3中,所述料柱即为待加工的工件。其中每个工作室可以独立控制工作。
所述三个工作室1呈等边三角形设置。
所述工作室1的沉积室3与发热体4及发热体4与保温筒5之间分别留有10—30毫米的间隙。
所述保温筒5的壁厚是50—90毫米。
本实用新型的保温筒5,其泡沫炭材料是以树脂为粘结剂,加入多种残炭率高的原材料,经过混碾、装模成型、炭化处理、机械加工、组装及表面增强等工序,再进行使用前的最后热处理,即能够适应工作温度要求以上的最后处理,如保温层工作温度为1000℃,最适宜的最后处理温度应该为1200℃以上。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的