[实用新型]一种三料柱气相沉积炉有效
| 申请号： | 201220075584.5 | 申请日： | 2012-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN202323015U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 隋英华;叶会礼;刘广达;王树山;赵启民 | 申请（专利权）人： | 烟台鲁航炭材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/26 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 264006 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 三料柱气相 沉积 | ||
【权利要求书】：
1.一种三料柱气相沉积炉，包括圆筒形炉体，在所述炉体中，分别设有三个工作室，其特征在于，所述每个工作室包括从里到外依次设置的圆筒形沉积室、发热体及保温筒，所述保温筒是泡沫炭材质。
2.根据权利要求1所述的三料柱气相沉积炉，其特征在于，所述三个工作室呈等边三角形设置。
3.根据权利要求1或2所述的三料柱气相沉积炉，其特征在于，所述工作室的沉积室与发热体及发热体与保温筒之间分别留有10—30毫米的间隙。
4.根据权利要求3所述的三料柱气相沉积炉，其特征在于，所述保温筒的壁厚是50—90毫米。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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